A gránit légcsapágy-rendszereket széles körben használjákultraprecíziósmozgásplatformok félvezetőgyártáshoz, optikai beállításhoz és nanométeres méréstechnikához.
Ezek a rendszerek egy vékony, sűrített levegős filmréteg használatával kiküszöbölik a mechanikai érintkezést, így közel nulla súrlódási mozgást érnek el.
Légcsapágy-elv
A légcsapágyak úgy működnek, hogy sűrített levegőt juttatnak két felület közé, ami egy 2–20 μm vastag légréteget képez.
Ez kiküszöböli:
- Mechanikai súrlódás
- Viselet
- Akadozó csúszás viselkedés
A rendszer a folyadékfilm dinamikájára és a stabil lamináris áramlásra támaszkodik.
A gránit szerepe
A Gránit a következőket kínálja:
- Szerkezeti stabilitás
- Termikus sodródás elnyomása
- Rezgéscsillapítás
Ez szolgál a mozgásrendszer mechanikai referenciaalapjaként.
Rendszerösszetevők
- Gránit alap
- Légcsapágybetétek
- Levegőellátó rendszer
- Precíziós jeladók
- Mozgásvezérlő rendszer
Teljesítményjellemzők
Tipikus teljesítmény a következőket tartalmazza:
- Mikron alatti pozicionálási pontosság
- Nagy egyenesség hosszú útszakaszokon
- Nulla mechanikai holtjáték
A főbb hibaforrások közé tartozik a légnyomás instabilitása, a hőeltolódás és az enkóder hibája.
Alkalmazások
- Félvezető ostya vizsgálat
- Litográfiai rendszerek
- Optikai beállító platformok
- Csúcskategóriás méréstechnikai gépek
GYIK
Elkopnak a légcsapágyak?
A mechanikai érintkezés hiánya kiküszöböli a kopást.
Miért érdemes gránitot használni?
Stabilitás és rezgéscsillapítás érdekében.
Mi korlátozza a pontosságot?
A levegő stabilitása és termikus hatások.
Nehéz terheket tudnak cipelni?
Igen, a kialakítástól függően.
Közzététel ideje: 2026. július 3.