♦Alumínium-oxid (Al2O3)
A ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) által gyártott precíziós kerámia alkatrészek nagy tisztaságú kerámia alapanyagokból, 92~97% alumínium-oxid, 99,5% alumínium-oxid, >99,9% alumínium-oxid tartalmú ...
Széles körben használják különféle félvezetőgyártó berendezésekben: keretekben (kerámia konzol), hordozókban (alap), karokban/hidakban (manipulátor), mechanikus alkatrészekben és kerámia légcsapágyakban.
| Termék neve | Nagy tisztaságú 99 alumínium-oxid kerámia négyzet alakú cső / cső / rúd | |||||
| Index | Egység | 85% Al₂O₃ | 95% Al₂O₃ | 99% Al₂O₃ | 99,5% Al₂O₃ | |
| Sűrűség | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
| Vízfelvétel | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
| Szinterelt hőmérséklet | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Keménység | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Hajlítószilárdság (20 ℃)) | MPa | 200 | 300 | 340 | 360 fok | |
| Nyomószilárdság | kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Hosszú ideig tartó üzemi hőmérséklet | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Max. üzemi hőmérséklet | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Térfogati ellenállás | 20℃ | Ω cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Nagy tisztaságú alumínium-oxid kerámiák alkalmazása:
1. Félvezető berendezésekre alkalmazva: kerámia vákuumos tokmány, vágókorong, tisztítókorong, kerámia TOKMÁNY.
2. Ostyaátvivő alkatrészek: ostyakezelő tokmányok, ostyavágó tárcsák, ostyatisztító tárcsák, ostya optikai vizsgáló tapadókorongok.
3. LED/LCD síkképernyős kijelzőipar: kerámia fúvóka, kerámia csiszolókorong, LIFT PIN, PIN sín.
4. Optikai kommunikáció, napelemes ipar: kerámia csövek, kerámia rudak, áramköri szitanyomás kerámia kaparók.
5. Hőálló és elektromosan szigetelő alkatrészek: kerámia csapágyak.
Jelenleg az alumínium-oxid kerámiákat nagy tisztaságú és közönséges kerámiákra lehet osztani. A nagy tisztaságú alumínium-oxid kerámiák sorozata olyan kerámiaanyagra vonatkozik, amely több mint 99,9% Al₂O₃-t tartalmaz. Mivel szinterelési hőmérséklete akár 1650-1990°C is lehet, és az átviteli hullámhossza 1 ~ 6 μm, általában olvasztott üveggé dolgozzák fel platina olvasztótégely helyett: ez utóbbi fényáteresztő képessége és alkálifém-korrózióállósága miatt nátriumcsőként használható. Az elektronikai iparban nagyfrekvenciás szigetelőanyagként használható IC-hordozókhoz. Az alumínium-oxid különböző tartalma szerint a közönséges alumínium-oxid kerámiák sorozata 99-es kerámiára, 95-ös kerámiára, 90-es kerámiára és 85-ös kerámiára osztható. Néha a 80% vagy 75% alumínium-oxidot tartalmazó kerámiákat is közönséges alumínium-oxid kerámiák sorozatának minősítik. Közülük a 99-es alumínium-oxid kerámia anyagot magas hőmérsékletű olvasztótégelyek, tűzálló kemencecsövek és speciális kopásálló anyagok, például kerámia csapágyak, kerámia tömítések és szeleptányérok gyártásához használják. A 95-ös alumínium kerámiát elsősorban korrózióálló kopásálló alkatrészként használják. A 85-ös kerámiát gyakran keverik bizonyos tulajdonságokkal, ezáltal javítva az elektromos teljesítményt és a mechanikai szilárdságot. Molibdén, nióbium, tantál és más fémtömítéseket is használhatnak, és néhányat elektromos vákuumberendezésként is használnak.
| Minőségi tétel (reprezentatív érték) | Termék neve | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Kémiai összetétel Alacsony nátriumtartalmú Könnyen szinterezhető termék | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
| LOl | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
| SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
| Közepes részecskeátmérő (MT-3300, lézeres analízis módszerrel) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α kristályméret | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Formáló sűrűség** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Szinterelési sűrűség** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| A szinterezővezeték zsugorodási sebessége** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* Az MgO nem szerepel az Al₂O₃ tisztaságának kiszámításában.
* Revékmentes por 29,4 MPa (300 kg/cm²), szinterelési hőmérséklet 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: 0,05 ~ 0,1% MgO hozzáadása esetén a szinterezhetőség kiváló, így 99%-nál nagyobb tisztaságú alumínium-oxid kerámiákhoz alkalmazható.
AES-22S: Jellemzője a nagy alakítási sűrűség és a szinterező sor alacsony zsugorodási sebessége, alkalmas csúsztatóformás öntéshez és más nagyméretű termékekhez, a szükséges méretpontossággal.
AES-23 / AES-31-03: Nagyobb alakítási sűrűségű, tixotróp és alacsonyabb viszkozitású, mint az AES-22S. Az előbbit kerámiákhoz használják, míg az utóbbit vízcsökkentőként tűzálló anyagokban, egyre népszerűbb.
♦Szilícium-karbid (SiC) jellemzői
| Általános jellemzők | A fő összetevők tisztasága (tömeg%) | 97 | |
| Szín | Fekete | ||
| Sűrűség (g/cm³) | 3.1 | ||
| Vízfelvétel (%) | 0 | ||
| Mechanikai jellemzők | Hajlítószilárdság (MPa) | 400 | |
| Young-modulus (GPa) | 400 | ||
| Vickers-keménység (GPa) | 20 | ||
| Termikus jellemzők | Maximális üzemi hőmérséklet (°C) | 1600 | |
| Hőtágulási együttható | Szobahőmérséklet ~500°C | 3.9 | |
| (1/°C × 10⁻⁶) | RT~800°C | 4.3 | |
| Hővezető képesség (W/m² × K) | 130 110 | ||
| Hősokk-állóság ΔT (°C) | 300 | ||
| Elektromos jellemzők | Térfogati ellenállás | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Dielektromos állandó | 10 GHz | - | |
| Dielektromos veszteség (x 10⁻⁴) | - | ||
| Q-tényező (× 104) | - | ||
| Dielektromos átütési feszültség (KV/mm) | - | ||
♦Szilícium-nitrid kerámia
| Anyag | Egység | Si₃N₄ |
| Szinterelési módszer | - | Gáznyomásos szinterezett |
| Sűrűség | g/cm³ | 3.22 |
| Szín | - | Sötétszürke |
| Vízfelvételi sebesség | % | 0 |
| Rugalmassági együttható | GPA | 290 |
| Vickers-keménység | GPA | 18-20 |
| Nyomószilárdság | MPa | 2200 |
| Hajlítószilárdság | MPa | 650 |
| Hővezető képesség | W/mK | 25 |
| Hősokk-állóság | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Maximális üzemi hőmérséklet | °C | 1200 |
| Térfogati ellenállás | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
| Dielektromos állandó | - | 8.2 |
| Átütési szilárdság | kV/mm | 16 |