A gránit platform, mint a precíz mérés és feldolgozás referenciaeszköze, pontosságának karbantartása közvetlenül befolyásolja a gyártás minőségét. Az alábbiakban egy szisztematikus karbantartási tervet ismertetünk, amely magában foglalja a környezeti ellenőrzést, a napi karbantartást és a professzionális kalibrálást annak biztosítása érdekében, hogy a platform hosszú ideig megőrizze a nanométeres szintű pontosságát.
1. Környezetvédelem: Precíziós védőgát építése
Hőmérséklet- és páratartalom-szabályozás
A munkakörnyezet hőmérsékletét 20±1 ℃-on kell stabilizálni. Minden 1 ℃-os ingadozás a gránit platform 0,5-1 μm/m hődeformációját okozza. A műhelyben állandó hőmérsékletű rendszer telepíthető, hogy megakadályozzuk a légkondicionáló kimeneteinek közvetlen levegőfújását a platformra.
A páratartalmat 40% és 60% között kell szabályozni. A túlzott páratartalom könnyen rozsdásodást okozhat a fém alkatrészeken, míg a túl alacsony páratartalom statikus elektromosságot okozhat a mérés során.
Rezgésszigetelés
A platformot távol kell tartani a rezgésforrásoktól, például a sajtológépektől és marógépektől. Ajánlott legalább 3 méter távolságot tartani a rezgést okozó berendezésektől.
Ha a rezgés nem kerülhető el, légrugós lengéscsillapítók szerelhetők fel a platform aljára, hogy csökkentsék a környezeti rezgések hatását a platform sík felületére (ami több mint 80%-kal csökkentheti a külső rezgést).
2. Napi karbantartás: Gondos ellenőrzés a tisztítástól a védelemig
Felülettisztítási specifikáció
Por eltávolítása: Naponta törölje át a felületet szarvasbőrrel vagy szöszmentes ruhával ugyanabba az irányba, hogy megakadályozza a porszemcsék (≥5μm) megkarcolódását a platformon. A makacs foltokat óvatosan törölje le vízmentes etanollal (tisztaság ≥99,7%). Erős oldószereket, például acetont nem szabad használni.
Zsírtalanítás: Ha olajfoltok érik, törölje át hígított semleges tisztítószerrel, majd öblítse le ioncserélt vízzel és hagyja megszáradni, hogy megakadályozza az ásványi olaj behatolását a platform apró pórusaiba.
Teher- és ütközésvédelem
A platform teherbírását a névleges terhelés 70%-án belül kell szabályozni (például egy 1000 kg-os platform esetében a terhelés ≤700 kg legyen), hogy elkerüljük a helyi túlterhelés okozta maradó deformációt.
Szigorúan tilos a munkadarabokat a platformon ütögetni. Szerszámok kezelésekor viseljen puha kesztyűt, hogy megakadályozza az éles tárgyak felületének karcolódását (a 20 μm-nél mélyebb karcolások befolyásolják a visszavert fényút mérését).
3. Professzionális kalibrálás: A pontosság tudományos fenntartásának alapja
Kalibrációs ciklus beállítása
Hagyományos használati forgatókönyvek: Kalibrálás negyedévente egyszer, és lézeres interferométer használata a síkfelület mérésére (±0,5 μm/m pontossággal).
Nagyfrekvenciás használat vagy zord környezet: Havi kalibrálás, különös tekintettel a hőmérséklet-érzékeny területek (például a peron széle hőforrások közelében) monitorozására.
Kalibráció utáni feldolgozás
Ha síkfelületi eltérést talál (például > ±1 μm/m), akkor azt szakembernek kell csiszolnia és javítania W1.5 mikroporral. Az öncsiszolás csiszolópapírral szigorúan tilos.
Kalibrálás után az adatokat rögzíteni és archiválni kell, valamint egy platformpontosság-csillapítási görbét kell létrehozni a karbantartási igények előzetes előrejelzésére.
4. Tárolás és szállítás: Kerülje a rejtett pontosságveszteséget
A hosszú távú tárolás főbb pontjai
Tároláskor nedvesség- és porálló burkolattal kell letakarni. Az alját három ponton kell alátámasztani (a támasztópont a platform hosszának 2/9-edénél található), hogy megakadályozzuk a gravitáció okozta hajlító-deformációt (egy 1 méteres platform 0,3 μm-rel megereszkedhet a hosszú távú egypontos alátámasztás miatt).
A platform alátámasztási pontjainak helyzetét rendszeresen (havonta) kell módosítani a hosszú távú helyi nyomás elkerülése érdekében.
Közlekedésvédelmi terv
Rövid távolságú szállítás: Tekerje be ütéscsillapító habbal, rögzítse merev keretbe, és tartsa a gyorsulást 2 g-n belül.
Nagy távolságú szállítás: Vákuumcsomagolás és száraz nitrogénnel való feltöltés szükséges. Érkezés után 24 órán át állni kell hagyni, amíg a hőmérséklet eléri az egyensúlyi állapotot, mielőtt kicsomagolná, hogy a kondenzvíz ne befolyásolja a pontosságot.
5. Hibaelőrejelzés: Technikák a korai problémák azonosítására
Vizuális ellenőrzés: Rendszeresen vizsgálja meg a felületet 40-szeres nagyítóval. Ha folyamatos karcolásokat vagy a fényesség jelentős csökkenését észleli, az a pontosság csökkenésére utalhat.
Hangérzékelés: Finoman koppintson a platformra. Ha a hang rekedtté válik (normális esetben tisztának kell lennie), előfordulhatnak benne mikrorepedések. Az érzékelés érdekében azonnal hagyja abba a használatát.
Ennek a karbantartási rendszernek köszönhetően a ZHHIMG® gránit platform 10 évig képes fenntartani a ±1 μm/m síkfelületet, ami több mint háromszor hosszabb, mint a nem megfelelően karbantartott platformok precíziós élettartama. A gyakorlat bebizonyította, hogy miután egy félvezetőgyár átvette ezt a megoldást, a platformkalibrálás gyakorisága 50%-kal csökkent, és az éves karbantartási költség több mint 150 000 jüant takarított meg.
Közzététel ideje: 2025. június 18.