A precíziós forradalom a félvezetőgyártásban: Amikor a gránit találkozik a mikrontechnológiával
1.1 Váratlan felfedezések az anyagtudományban
A SEMI Nemzetközi Félvezető Szövetség 2023-as jelentése szerint a világ fejlett gyárainak 63%-a gránit alapokat kezdett használni a hagyományos fém platformok helyett. Ez a természetes kő, amely a Föld mélyén található magma kondenzációjából származik, egyedi fizikai tulajdonságai miatt átírja a félvezetőgyártás történetét:
Hőtehetetlenségi előny: a 4,5 × 10⁻⁶/℃ gránit hőtágulási együtthatója csak 1/5-e a rozsdamentes acélénak, és a litográfiai gép folyamatos működése során ±0,001 mm méretstabilitást tart fenn.
Rezgéscsillapító tulajdonságok: a belső súrlódási együttható 15-ször nagyobb, mint az öntöttvasé, így hatékonyan elnyeli a berendezés mikrorezgését
Nulla mágnesezettség: teljesen kiküszöböli a mágneses hibát a lézeres mérésben
1.2 Az átalakulás az enyémtől a gyárig
Vegyük például a ZHHIMG intelligens gyártóbázisát Shandongban, ahol egy darab nyers gránitot a következő eljárással kell kezelni:
Ultraprecíziós megmunkálás: öttengelyes összekötő megmunkálóközpont 200 órás folyamatos maráshoz, felületi érdesség akár Ra0.008μm
Mesterséges öregítési kezelés: 48 órás természetes feszültségmentesítés állandó hőmérsékletű és páratartalmú műhelyben, ami 40%-kal javítja a termék stabilitását
Másodszor, oldja meg a félvezetőgyártás hat precíziós problémáját: „sziklamegoldás”
2.1 Ostyafragmentáció-csökkentési rendszer
Esettanulmány: Miután egy németországi forgácsöntöde átvette gázúszó gránitplatformunkat:
| Ostya átmérője | chipsebesség-csökkentés | síkfelület-javítás |
| 12 hüvelyk | 67% | ≤0,001 mm |
| 18 hüvelyk | 82% | ≤0,0005 mm |
2.2 Litográfiai beállítási pontosság áttörési sémája
Hőmérséklet-kompenzáló rendszer: a beágyazott kerámia érzékelő valós időben figyeli az alakváltozót, és automatikusan beállítja a platform dőlésszögét
Mért adatok: 28 ℃ ± 5 ℃ ingadozás esetén a beágyazási pontosság ingadozása kevesebb, mint 0,12 μm
Közzététel ideje: 2025. márc. 24.