A precíziós gyártás és a tudományos kutatás területén a gránit precíziós platformok síkfelülete kulcsfontosságú mutató a berendezések pontosságának biztosításában. Az alábbiakban részletesen bemutatjuk a számos elterjedt érzékelési módszert és azok működési eljárásait.
I. Lézerinterferométeres detektálási módszer
A lézeres interferométer az előnyben részesített eszköz a nagy pontosságú síkfelület-érzékeléshez. Vegyük például a ZYGO GPI XP lézeres interferométert, amelynek felbontása elérheti a 0,1 nm-t. Az érzékelés elvégzésekor először az interferométer fényforrását kell a platformhoz igazítani, és a platform felületét 50 mm × 50 mm-es rácsterületekre kell osztani. Ezt követően pontról pontra összegyűjtötték az interferencia csíkok adatait, és az adatokat Zernike polinom segítségével illesztették és elemezték a síkfelület-hiba meghatározásához. Ez a módszer nagy pontosságú platformokra alkalmazható, és ≤0,5 μm/m² síkfelület-hibákat képes kimutatni. Általában fotolitográfiai gépek és csúcskategóriás háromkoordinátás mérőgép-platformok érzékelésében használják.
Ii. Elektronikus szintezőrendszer módszer
Az elektronikus szintezőrendszer egyszerűen kezelhető és rendkívül hatékony. A platform X/Y tengelyének irányában 9×9-es elrendezésben elrendezett TESA A2 elektronikus szintezőt (0,01 μm/m felbontással) választották ki és helyezték el. Az egyes szintek dőlési adatainak szinkron gyűjtésével, majd a legkisebb négyzetek módszerének alkalmazásával a számításhoz pontosan meghatározható a síkfelület értéke. Ez a módszer hatékonyan képes azonosítani a platform lokális konkáv és konvex viszonyait. Például 50 mm-es tartományon belül 0,2 μm-es ingadozás is kimutatható, ami alkalmas a tömegtermelés gyors kimutatására.
Iii. Optikai síkkristályos módszer
Az optikai síkkristályos módszer alkalmas kis felületű platformok detektálására. Rögzítse szorosan az optikai síkkristályt a platformon vizsgálandó felülethez, és figyelje meg a közöttük kialakuló interferenciacsíkokat egy monokromatikus fényforrás (például nátriumlámpa) megvilágítása alatt. Ha a csíkok párhuzamos, egyenes csíkok, az jó síkfelületet jelez. Ha görbe csíkok jelennek meg, számítsa ki a síkfelületi hibát a csík görbületének mértéke alapján. Minden görbe csík 0,316 μm magasságkülönbséget jelent, és a síkfelületi adatok egyszerű átváltással megkaphatók.
Négy. Háromkoordinátás mérőgép ellenőrzési módszer
A háromkoordinátás mérőgép nagy pontosságú mérést képes elérni háromdimenziós térben. Helyezze a gránit platformot a mérőgép munkaasztalára, és a mérőfej segítségével egyenletesen gyűjtsön adatokat a platform felületén lévő több mérési pontról. A mérőgép rendszer feldolgozza és elemzi ezeket az adatokat, hogy elkészítse a platform síklapúsági jelentését. Ez a módszer nemcsak a síklapúságot képes érzékelni, hanem a platform más geometriai paramétereit is képes egyidejűleg megkapni, és alkalmas nagy gránit platformok átfogó érzékelésére.
Ezen érzékelési módszerek elsajátítása segíthet pontosan felmérni a gránit precíziós platform síkfelületét, és megbízható garanciát nyújthat a precíziós berendezések stabil működésére.
Közzététel ideje: 2025. május 29.