A csúcskategóriás gyártás és a legmodernebb tudományos kutatás területén a légúszó ultra-precíziós mozgásmodulja kiváló precíziós teljesítményének köszönhetően kulcsfontosságú berendezéssé vált a finom működés és mérés terén. A gránit precíziós alap, mint tartómag, szigorú követelményeket támaszt a munkakörnyezettel szemben, és a megfelelő környezeti feltételek biztosítják a stabil teljesítményt és a legjobb hatást.
Először is, a hőmérséklet-szabályozás: precíziós "stabilizátor"
Bár a gránit stabilitásáról ismert, nem teljesen immunis a hőmérséklet-változásokra. Bár hőtágulási együtthatója alacsony, általában 5-7 × 10⁻⁶/℃, az ultraprecíziós mozgásvezérlési forgatókönyvekben a finom hőmérséklet-ingadozások mégis méretváltozásokat okozhatnak és befolyásolhatják a modul pontosságát. A félvezető chipgyártó műhelyben a litográfiai eljárás danami szintű pozicionálási pontosságot igényel, és a környezeti hőmérséklet 1 °C-kal ingadozik, az 1 méteres oldalhosszúságú gránit alap 5-7 mikronos lineáris tágulást vagy összehúzódást eredményezhet. Ezt a kis változást a légúszó ultraprecíziós mozgásmodulja továbbítja, ami elegendő ahhoz, hogy a chip litográfiai mintázatának eltérése és a hozam jelentős csökkentése érdekében. Ezért a gránit precíziós alappal ellátott, levegővel lebegő, ultra-precíziós mozgásmodul ideális munkakörnyezeti hőmérsékletét 20 °C ±1 °C-on kell szabályozni nagy pontosságú állandó hőmérsékletű berendezések, például állandó hőmérsékletű és páratartalmú légkondicionáló rendszer segítségével, a környezeti hőmérséklet folyamatos figyelésével és beállításával, hogy a hőmérséklet-ingadozások nagyon kis tartományban is megmaradjanak, az alapméret stabilitása megmaradjon, biztosítva a modul nagy pontosságú működését.
Másodszor, a páratartalom szabályozása: a nedvességálló védelem kulcsa "kő"
A páratartalom egy másik fontos tényező, amely befolyásolja a precíziós gránit alap teljesítményét. Magas páratartalmú környezetben a gránit könnyen felszívja a vízgőzt, ami a felületén kondenzációhoz vezethet, ami nemcsak a gránit és a légúszó ultra-precíziós mozgásmoduljának csatlakozási stabilitását befolyásolja, hanem felületi eróziót is okozhat, és hosszú távon csökkentheti a fényességet és a pontosságot. Az optikai lencsecsiszoló műhelyben, ha a páratartalom hosszú ideig meghaladja a 60% relatív páratartalmat, a gránit alap felületén adszorbeált vízgőz zavarja a gázúszó csúszka mozgását, így csökken a lencsecsiszolási pontosság, és a felület hibás lesz. Ezért a munkakörnyezet relatív páratartalmát szigorúan 40% és 60% relatív páratartalom között kell szabályozni, amelyet valós időben lehet figyelni és beállítani páramentesítők, páratartalom-érzékelők és egyéb berendezések telepítésével, hogy elkerüljük a gránit alap magas páratartalom miatti károsodását, és biztosítsuk a légúszó ultra-precíziós mozgásmoduljának zökkenőmentes működését.
Harmadszor, a tisztaság garanciája: a precizitás „őre”
A porrészecskék káros hatása a levegőflotációs ultraprecíziós mozgásmodul precíziós gránitallapjára nem alábecsülendő. Amint az apró részecskék bejutnak a gázfilm résbe a gázúszó csúszka és a gránitallap között, tönkretehetik a gázfilm egyenletességét, növelhetik a súrlódást, sőt megkarcolhatják az alap felületét, ami a mozgáspontosság csökkenéséhez vezethet. A repülőgépipari alkatrészek ultraprecíziós megmunkáló műhelyében, ha a levegőben lévő porrészecskék a gránitallapra esnek, a megmunkáló szerszám mozgási pályája eltérhet, ami befolyásolja az alkatrészek megmunkálási pontosságát. Ezért a munkaterületet magas tisztaságúnak kell tartani, elérve a 10 000-es vagy akár magasabb tisztasági szintet légtisztító berendezések, például nagy hatékonyságú légszűrők (HEPA) beszerelésével, amelyek kiszűrik a levegőben lévő porrészecskéket, ugyanakkor a személyzetnek pormentes ruházatot, cipővédőt stb. kell viselnie az emberek által bevitt por csökkentése érdekében. Fenn kell tartani a gránitallap és a levegőfloat ultraprecíziós mozgásmoduljának nagy pontosságú működési környezetét.
Négy, rezgésszigetelés: a "sokkpad" zökkenőmentes működése
A külső rezgés az úszótest ultraprecíziós mozgásmoduljának pontosságának ellensége. Bár a precíziós gránit alap rendelkezik bizonyos rezgéscsillapító képességgel, a nagy erősségű rezgés mégis átlépheti a pufferhatárát. A gyár körüli forgalom és a nagy mechanikus berendezések működése által keltett rezgés a talajon keresztül továbbítódik a gránit alapra, ami zavarja az úszótest ultraprecíziós mozgásmoduljának mozgáspontosságát. A csúcskategóriás koordináta-mérőgépekben a rezgés a mérőszonda és a mérendő munkadarab közötti érintkezés instabillá válását okozhatja, ami a mérési adatok eltérését eredményezi. A probléma megoldása érdekében hatékony rezgésszigetelési intézkedéseket kell alkalmazni, például rezgésszigetelő betétek elhelyezését a berendezés telepítési területén, rezgésszigetelő alap építését vagy aktív rezgésszigetelő rendszer használatát a külső rezgések aktív ellensúlyozására, valamint csendes és stabil munkakörnyezetet kell teremteni a gránit precíziós alap és a úszótest ultraprecíziós mozgásmodulja számára.
A légúszó ultra-precíziós mozgásmoduljának gránit precíziós alapja csak a hőmérséklet, páratartalom, tisztaság és rezgésszabályozás környezeti követelményeinek teljes körű teljesítésével tudja teljes mértékben kihasználni teljesítménybeli előnyeit, megbízható garanciát nyújtani az ultra-precíziós műveletekhez különböző területeken, és segíteni az iparágat a magasabb precíziós gyártási és tudományos kutatási szint felé való elmozdulásban.
Közzététel ideje: 2025. április 8.