A félvezető szeletek hornyolásának területén a precízió az életvonal. Egy kifogástalan gránitalap minőségi ugrást hozhat a hornyoló berendezések teljesítményében! Milyen "szuperképességeket" rejt valójában? Miért mondják, hogy a megfelelő gránitalap kiválasztása azt jelenti, hogy félig sikerrel jártál? Ma részletesen bemutatjuk!
I. Erősség: A gránit három „eredendő előnye”
A szeizmikus ellenállás olyan stabil, mint a Tai-hegyé
A gránit sűrűsége eléri a 2800-3100 kg/m³-t, szerkezete pedig olyan sűrű, mint egy „kőerőd”. A lapkahornyolás nagyfrekvenciás rezgési környezetében (a berendezés percenként több mint 100-szor hornyol) a rezgési energia több mint 90%-át képes elnyelni, akárcsak az „ütéscsillapító fekete technológiával” felszerelt berendezés esetében! Egy bizonyos chipgyárban mért adatok azt mutatják, hogy a gránit alap használata után a hornyoló vágófej jitter-amplitúdója 15 μm-ről 3 μm-re csökkent, a faragott mikrohornyok szélei pedig tükörsimák.
2. „Hőálló felépítés” Nem fél a hőmérséklet-különbségektől
A közönséges anyagok hevítéskor „kitágulnak és deformálódnak”, hűtéskor pedig „összehúzódnak és deformálódnak”, de a gránit hőtágulási együtthatója mindössze 4-8×10⁻⁶/℃, ami a fémek hőtágulási együtthatójának mindössze 1/5-e! Még ha a műhely hőmérséklete 24 órán belül meredeken 10℃-kal ingadozik is, a deformációja kevesebb, mint 0,01 mm, és szinte figyelmen kívül hagyható. Ez azt jelenti, hogy a nappalok váltakozásától, illetve a berendezés hosszan tartó működésétől és hőtermelésétől függetlenül a gránit alap folyamatosan „mozdulatlanul” tudja tartani a rés helyzetét.
3. Elpusztíthatatlan kopásállóság
A gránit Mohs-keménysége eléri a 6-7-et, ami összehasonlítható a kvarckőével, kopásállósága pedig háromszorosa a hagyományos acélénak! A lapkahornyolás hosszú távú nagyfrekvenciás súrlódása alatt az alap felülete alig kopik. Egy bizonyos öntöde öt éven át gránit alapokat használt, és az ellenőrzés során a síkfelület ±0,5 μm/m-en belül maradt, a hornyolás pontossága pedig állandó maradt, ami jelentős mennyiségű berendezéskalibrálási és csereköltséget takarított meg.
Ii. Pontos alkalmazkodás: Hogyan felel meg a gránit a különböző hornyolási követelményeknek?
1. jelenet: Ultrafinom hornyolás (10 μm alatti mikrohornyok)
Követelmény: Végső síkfelület
A gránit előnyei: Az öttengelyes, nagy pontosságú megmunkálásnak köszönhetően a síkfelület ±0,5 μm/m-en belül szabályozható, ami azt jelenti, hogy 1 méteres hosszon a magassági hiba 200-szor vékonyabb, mint egy emberi hajszál! Győződjön meg arról, hogy a hornyolófej és a lapka közötti távolság mindig pontos, és a faragott mikrohornyok szélességi hibája nem haladja meg a ±0,1 μm-t.
2. jelenet: Nagysebességű tömeggyártású beszúrás
Követelmény: Szuper ütéscsillapítási teljesítmény
A gránit előnyei: Természetes csillapító tulajdonságai a belső térben gyorsan csillapítják a berendezések rezgését. Miután egy bizonyos panelgyár gránit alapokat vezetett be, a hornyolási sebesség 40%-kal nőtt, a hozam pedig 85%-ról 96%-ra ugrott, így a termelési hatékonyság és a minőség kétszeresére nőtt!
3. jelenet: Komplex környezeti hornyolás (magas hőmérséklet/korrózió)
Követelmények: Magas hőmérséklet-állóság és korrózióállóság
A gránit előnyei: Rendkívül erős kémiai stabilitás, ellenáll a savas és lúgos korróziónak; Alacsony hőtágulási együtthatóval rendelkezik, és még a helyi magas hőmérsékleten (150 ℃) sem deformálódik lézeres hornyolás során. Egy bizonyos laboratóriumban korrozív hornyolóoldattal ellátott gránitalapot három éve folyamatosan használnak, és az alap felülete ép maradt.
Iii. Hogyan válasszunk „valódi, kiváló minőségű” gránit alapot?
Nézze meg a sűrűséget: A ≥2800 kg/m³ sűrűségű gránit kompaktabb szerkezetű.
Tanúsítványok ellenőrzése: A minőség biztosítása érdekében győződjön meg arról, hogy ismeri a hiteles tanúsítványokat, például az ISO 9001-et és a CNAS-t.
Ellenőrzési adatok: A gyártónak vizsgálati jelentéseket kell benyújtania a hőtágulási együtthatóról (< 8×10⁻⁶/℃) és a síkfelületről (±0,5 μm/m).
Helyszíni teszt: Koppintson az alapra. A tiszta hang azt jelzi, hogy nincsenek repedések belül. Ha az érintőfelület tükörsima, az nagy megmunkálási pontosságot jelez.
Konklúzió: Válassza ki a megfelelő gránitot, és máris megnyeri a csata felét a hornyolásban!
Az ütésállóságtól a hőállóságon át a kopásállóságig a gránit alaplap „természetes szépségével” és „kemény szilárdságával” a wafer hornyoló berendezések arany partnerévé vált. A mai félvezetőgyártási korszakban, amely a nanoskálájú pontosságra törekszik, a kiváló minőségű gránit alaplap nemcsak befektetés a berendezésekbe, hanem hosszú távú garancia a termelési hatékonyságra és a termékminőségre is!
Közzététel ideje: 2025. június 17.