A félvezetőgyártásban a fotolitográfiai gép kulcsfontosságú eszköz, amely meghatározza a forgácsok pontosságát, és a gránit alap, többszörös jellemzőivel, a fotolitográfiai gép nélkülözhetetlen alkotóelemévé vált.
Hőstabilitás: A „pajzs” a hőmérséklet-változások ellen
Amikor egy fotolitográfiai gép működik, nagy mennyiségű hőt termel. Már 0,1℃-os hőmérséklet-ingadozás is deformálhatja a berendezés alkatrészeit, és befolyásolhatja a fotolitográfia pontosságát. A gránit hőtágulási együtthatója rendkívül alacsony, mindössze 4-8 ×10⁻⁶/℃, ami körülbelül az acél és az alumíniumötvözet hőtágulási együtthatójának 1/3-a. Ez lehetővé teszi, hogy a gránit alap megtartsa méretstabilitását, amikor a fotolitográfiai gép hosszú ideig működik, vagy amikor a környezeti hőmérséklet változik, biztosítva az optikai alkatrészek és a mechanikai szerkezetek pontos pozicionálását.
Szuper rezgéscsillapító teljesítmény: A "szivacs", amely elnyeli a rezgést
Egy félvezetőgyárban a környező berendezések működése és az emberek mozgása egyaránt rezgéseket generálhat. A gránit nagy sűrűségű és kemény textúrájú, kiváló csillapítási tulajdonságokkal rendelkezik, a csillapítási aránya 2-5-szöröse a fémekének. Amikor külső rezgések terjednek a gránitalapra, a belső ásványi kristályok közötti súrlódás a rezgési energiát hőenergiává alakítja az elvezetéshez, ami rövid időn belül jelentősen csökkentheti a rezgést, lehetővé téve a fotolitográfiai gép számára a stabilitás gyors helyreállítását és a fotolitográfiai minta rezgés miatti elmosódásának vagy eltolódásának elkerülését.
Kémiai stabilitás: A tiszta környezet „őrzője”
A fotolitográfiai gép belseje különféle kémiai közegekkel érintkezik, és a közönséges fémanyagok hajlamosak a korrózióra vagy a részecskék felszabadulására. A gránit olyan ásványokból áll, mint a kvarc és a földpát. Stabil kémiai tulajdonságokkal és erős korrózióállósággal rendelkezik. Savas és lúgos oldatokban való áztatás után a felületi korrózió rendkívül csekély. Eközben sűrű szerkezete szinte semmilyen törmeléket vagy port nem termel, így megfelel a legmagasabb tisztatéri szabványok követelményeinek, és csökkenti a lapka szennyeződésének kockázatát.
Feldolgozási alkalmazkodóképesség: Az „ideális anyag” a precíz referenciaértékek létrehozásához
A fotolitográfiai gép fő alkotóelemeit nagy pontosságú referenciafelületre kell telepíteni. A gránit belső szerkezete egyenletes, és könnyen megmunkálható rendkívül nagy pontossággal csiszolással, polírozással és egyéb technikákkal. Síksága elérheti a ≤0,5 μm/m-t, a felületi érdesség pedig az Ra ≤0,05 μm, ami precíz telepítési alapot biztosít olyan alkatrészekhez, mint az optikai lencsék.
Hosszú élettartam és karbantartásmentesség: Az „éles szerszámok” a költségcsökkentéshez
A hosszú távú használat során kifáradásra és repedésre hajlamos fém anyagokkal összehasonlítva a gránit normál terhelés alatt alig deformálódik vagy törik, és nem igényel felületkezelést, így elkerülhető a bevonat lepattogzásának és szennyeződésének kockázata. A gyakorlatban a gránit alap fő teljesítménymutatói sok éves használat után is stabilak maradhatnak, csökkentve a berendezés üzemeltetési és karbantartási költségeit.
A hőstabilitástól a rezgésállóságon át a kémiai inert tulajdonságokig a gránit alap számos jellemzője tökéletesen megfelel a fotolitográfiai gép követelményeinek. Ahogy a chipgyártási folyamat egyre nagyobb pontosság felé fejlődik, a gránit alapok továbbra is pótolhatatlan szerepet játszanak a félvezetőgyártás területén.
Közzététel ideje: 2025. május 20.