A félvezetőgyártó műhelyben a chipgyártási folyamat környezeti feltételekre és a berendezések pontosságára vonatkozó követelményei szélsőségesek, és bármilyen apró eltérés a chiphozam jelentős csökkenéséhez vezethet. Az XYZT precíziós portálmozgató platform gránit alkatrészekre támaszkodik, amelyek a platform más részeivel együttműködve szilárd alapot teremtenek a nanoskálájú pontosság eléréséhez.
Kiváló rezgésgátló tulajdonságok
A félvezetőgyártó műhelyben a perifériák működése és a személyzet mozgása rezgést okozhat. A gránit alkatrészek belső szerkezete sűrű és egyenletes, természetes, magas csillapítási tulajdonságokkal, mint egy hatékony rezgés "gát". Amikor a külső rezgés átjut az XYZT platformra, a gránit alkatrész hatékonyan csillapítja a rezgési energia több mint 80%-át, és csökkenti a rezgés interferenciáját a platform mozgásának pontosságára. Ugyanakkor a platform nagy pontosságú légbefúvásos vezetőrendszerrel van felszerelve, amely a gránit alkatrészekkel együttműködve működik. A légbefúvásos vezető a nagynyomású gáz által képzett stabil gázfilmet használja a platform mozgó részeinek érintésmentes felfüggesztési mozgásának megvalósítására, és csökkenti a mechanikai súrlódás okozta kis rezgést. A kettő együttesen biztosítja, hogy a platform pozicionálási pontossága mindig nanométeres szinten maradjon olyan kulcsfontosságú folyamatokban, mint a chip litográfia és a maratás, és elkerülje a chip áramköri mintázatainak rezgés okozta eltérését.
Kiváló hőstabilitás
A műhelyben uralkodó hőmérséklet- és páratartalom-ingadozás nagy hatással van a chipgyártó berendezések pontosságára. A gránit hőtágulási együtthatója nagyon alacsony, általában 5-7 × 10⁻⁶/℃, a mérete szinte változatlan a hőmérséklet változásával. Még ha a műhelyben a nappali és éjszakai hőmérsékletkülönbség vagy a berendezés hőtermelése ingadozást okoz a környezeti hőmérsékletben, a gránit alkatrészek stabilak maradnak, megakadályozva a platform deformálódását a hőtágulás és -összehúzódás miatt. Ugyanakkor a platformmal felszerelt intelligens hőmérséklet-szabályozó rendszer valós időben figyeli a környezeti hőmérsékletet, automatikusan beállítja a légkondicionáló és a hőelvezető berendezéseket, és a műhely hőmérsékletét 20 °C ± 1 °C-on tartja. A gránit hőstabilitás előnyeivel kombinálva biztosítja, hogy a platform hosszú távú működése során az egyes tengelyek mozgáspontossága mindig megfeleljen a chipgyártás nanométeres pontossági szabványainak, így biztosítva a chip litográfiai mintázatának pontos méretét és egyenletes maratási mélységét.
Kielégíti a tiszta környezet igényeit
A félvezetőgyártó műhelynek magas fokú tisztaságot kell fenntartania, hogy megakadályozza a porrészecskék chipbe jutását. A gránit anyag önmagában nem termel port, felülete sima, nem könnyen szívja magába a port. A platform egésze teljesen zárt vagy félig zárt szerkezeti kialakítású, hogy csökkentse a külső por bejutását. A belső légkeringető rendszer a műhely tiszta légkondicionáló rendszerével van összekapcsolva, hogy biztosítsa, hogy a belső levegő tisztasága elérje a chipgyártás által megkövetelt szintet. Ebben a tiszta környezetben a gránit alkatrészek nem befolyásolják a teljesítményt a por eróziója miatt, és a platform olyan kulcsfontosságú alkatrészei, mint a nagy pontosságú érzékelők és motorok, szintén stabilan működhetnek, folyamatos és megbízható nanoskálájú pontossági garanciát biztosítva a chipgyártáshoz, és segítve a félvezetőipart a magasabb folyamatszintre való lépésben.
Közzététel ideje: 2025. április 14.