A félvezető ostyák vizsgálata területén a tisztatéri környezet tisztasága közvetlenül összefügg a termékhozammal. Ahogy a chipgyártási folyamatok pontossága folyamatosan javul, az érzékelő berendezések hordozóplatformjaival szembeni követelmények egyre szigorúbbak. A gránitplatformok, amelyek nulla fémion-kibocsátással és alacsony részecskeszennyezéssel rendelkeznek, felülmúlták a hagyományos rozsdamentes acél anyagokat, és a ostyavizsgáló berendezések előnyben részesített megoldásává váltak.
A gránit egy természetes magmás kőzet, amely főként nemfémes ásványokból, például kvarcból, földpátból és csillámból áll. Ez a tulajdonsága a nulla fémion-kibocsátás előnyét adja neki. Ezzel szemben a rozsdamentes acél, mint olyan fémek ötvözete, mint a vas, króm és nikkel, hajlamos az elektrokémiai korrózióra a felületén a vízgőz és a savas vagy lúgos gázok eróziója miatt tisztatéri környezetben, ami fémionok, például Fe²⁺ és Cr³⁺ kicsapódását eredményezi. Amint ezek az apró ionok a lapka felületéhez tapadnak, megváltoztatják a félvezető anyag elektromos tulajdonságait a későbbi folyamatokban, például a fotolitográfiában és a maratásban, a tranzisztor küszöbfeszültség-eltolódását okozzák, sőt rövidzárlatokhoz is vezethetnek az áramkörben. Szakmai intézményi vizsgálati adatok azt mutatják, hogy miután a gránit platformot folyamatosan szimulált tisztatéri hőmérsékleti és páratartalmú környezetnek (23±0,5℃, 45%±5% relatív páratartalom) tették ki 1000 órán keresztül, a fémionok kibocsátása alacsonyabb volt az észlelési határértéknél (< 0,1 ppb). A rozsdamentes acél platformok használata esetén a fémion-szennyeződés okozta ostyák hibaszázaléka akár 15-20% is lehet.
A részecskeszennyeződés-szabályozás tekintetében a gránit platformok szintén kivételesen jól teljesítenek. A tisztaterekben rendkívül magasak a levegőben lévő szuszpendált részecskék koncentrációjára vonatkozó követelmények. Például az ISO 1. osztályú tisztaterekben a megengedett 0,1 μm-es részecskék száma köbméterenként nem haladja meg a 10-et. Még ha a rozsdamentes acél platform polírozáson esett át, akkor is előfordulhat fémtörmelék vagy oxidréteg leválása külső erők, például a berendezés rezgése és a személyzet működése miatt, ami zavarhatja az érzékelő optikai útját vagy megkarcolhatja a lapka felületét. A gránit platformok sűrű ásványi szerkezetükkel (sűrűség ≥2,7 g/cm³) és nagy keménységükkel (6-7 a Mohs-skálán) hosszú távú használat során sem hajlamosak kopásra vagy törésre. A mérések azt mutatják, hogy a rozsdamentes acél platformokhoz képest több mint 40%-kal csökkenthetik a szuszpendált részecskék koncentrációját az érzékelő berendezés területének levegőjében, így hatékonyan fenntartják a tisztatéri osztályú szabványokat.
A tisztasági jellemzők mellett a gránit platformok átfogó teljesítménye is messze meghaladja a rozsdamentes acélét. Hőstabilitás tekintetében a hőtágulási együtthatója mindössze (4-8) ×10⁻⁶/℃, ami kevesebb, mint a fele a rozsdamentes acélénak (kb. 17×10⁻⁶/℃), ami jobban fenntartja az érzékelő berendezés pozicionálási pontosságát, amikor a tisztatér hőmérséklete ingadozik. A magas csillapítási karakterisztika (csillapítási arány > 0,05) gyorsan csillapítja a berendezés rezgését és megakadályozza az érzékelő szonda rázkódását. Természetes korrózióállósága lehetővé teszi, hogy stabil maradjon akkor is, ha fotoreziszt oldószereknek, marógázoknak és más vegyszereknek van kitéve, további bevonatvédelem nélkül.
Jelenleg a gránit platformokat széles körben használják a fejlett ostyagyártó üzemekben. Az adatok azt mutatják, hogy a gránit platform bevezetése után a ostya felületén lévő részecskeérzékelés hibás értékelési aránya 60%-kal csökkent, a berendezések kalibrációs ciklusa háromszorosára nőtt, és a teljes termelési költség 25%-kal csökkent. Ahogy a félvezetőipar a nagyobb pontosság felé halad, a gránit platformok, fő előnyeikkel, mint például a nulla fémion-kibocsátás és az alacsony részecskeszennyezés, továbbra is stabil és megbízható támogatást nyújtanak a ostyavizsgálathoz, és az iparág fejlődésének fontos mozgatórugójává válnak.
Közzététel ideje: 2025. május 20.