A félvezetőgyártás területén a szubmikronos pontosság a kulcs a chip teljesítményének biztosításához, és a (ZHHIMG®) gránit alap anyagtulajdonságaival, precíz megmunkálásával és innovatív kialakításával e pontosság elérésének alapvető garanciájává vált.
Anyagtulajdonságok szempontjából a ZHHIMG® által kiválasztott fekete gránit sűrűsége körülbelül 3100 kg/m³, sűrű belső szerkezettel. Ez a nagy sűrűség kiemelkedő stabilitást és merevséget biztosít. A félvezető berendezések működése során a motorok forgása és a berendezés belsejében lévő mechanikus alkatrészek mozgása rezgéseket generál. A gránitalap hatékonyan elnyeli a rezgési energia több mint 90%-át, jelentősen csökkentve a rezgés hatását a berendezés pontosságára. Eközben rendkívül alacsony hőtágulási együtthatója lehetővé teszi, hogy a környezeti hőmérséklet ingadozása esetén is nagyon kis tartományon belül tartsa deformációját, stabil tartóalapot biztosítva a félvezető berendezések számára, és megakadályozva a berendezés alkatrészeinek elmozdulását a hőmérsékletváltozások miatt, ami befolyásolhatná a pontosságot.
A feldolgozás és a gyártás tekintetében a ZHHIMG® gyár nemzetközileg fejlett feldolgozóberendezéseket alkalmaz, és négy szuper nagyméretű köszörűgéppel rendelkezik (gépenként több mint 500 000 USD), amelyek nagy pontosságú gránitcsiszolást tudnak végezni. Az öttengelyes CNC megmunkálásnak és egyéb eljárásoknak köszönhetően a gép alapja sík felülete elérheti a nanométeres szintet, ultra-sík referenciafelületet biztosítva a félvezető berendezések telepítéséhez, és biztosítva a berendezés minden egyes alkatrészének pontos pozicionálását. Ezenkívül az állandó hőmérsékletű és páratartalmú műhely (10 000 négyzetméteres területen) stabil környezetet biztosít a feldolgozáshoz. Az azt körülvevő 500 mm széles és 2000 mm mély rezgéscsillapító árkok, valamint a csendes daruk hatékonyan izolálják a külső rezgési interferenciákat, és biztosítják a gép alapja megmunkálási pontosságát.
Ezenkívül a ZHHIMG® széleskörű testreszabási lehetőségekkel is rendelkezik. A félvezető berendezések speciális igényeihez precíz beépítési furatok és kábeltálcák előre gyárthatók, hogy tökéletes kompatibilitást érjenek el a berendezés és az alap között. Ugyanakkor a világszínvonalú méréstechnikai és vizsgálóberendezésekkel, mint például a német Mahr percmérő (0,5 μm pontossággal) és a svájci WYLER elektronikus vízmérték, kombinálva a gépalapot szigorú ellenőrzésnek és kalibrálásnak vetik alá, hogy minden gépalap megfeleljen a félvezető berendezések szigorú, mikron alatti pontossági követelményeinek.
Pontosan ezen előnyök kombinációja teszi a ZHHIMG® gránit alapot megbízható választássá a félvezető berendezésekben a mikron alatti pontosság eléréséhez, segítve a félvezetőgyártást a nagyobb precíziós mezők felé való elmozdulásban.
Közzététel ideje: 2025. június 18.