IA félvezetőgyártó iparban a lapkavizsgáló berendezések pontossága kulcsfontosságú az integrált áramkörök minőségének biztosításához. A nagy pontosságú gránit gépalapok, mint amilyeneket a ZHHIMG® is szállít, létfontosságú szerepet játszanak az ilyen berendezések teljesítményének javításában. Íme, hogyan érnek el különbséget.
Kivételes méretstabilitásA gránit rendkívül alacsony hőtágulási együtthatóval büszkélkedhet, körülbelül (4–8)×10⁻⁶/℃, ami jelentősen alacsonyabb, mint sok fémé. A félvezetőgyárak szigorúan ellenőrzött környezetében, ahol még a kismértékű hőmérséklet-ingadozások is mérési hibákat okozhatnak, a gránit gépalapok stabilak maradnak. Ez a stabilitás biztosítja, hogy az alkatrészek pozicionálása a lapkavizsgáló berendezésekben pontos maradjon, megakadályozva a hő okozta eltéréseket, amelyek befolyásolhatnák az ellenőrzési eredmények pontosságát.
Kiváló rezgéscsillapításA gyártócsarnokok gyakran tele vannak különféle forrásokból származó rezgésekkel. A gránit inherens csillapító tulajdonságai, 0,05–0,1 csillapítási aránnyal, hatékonyan elnyelik és eloszlatják ezeket a rezgéseket. A lapkavizsgálathoz
A nagy felbontású képalkotást és precíz érzékelőadatokat igénylő szakaszokban a gránit alapok által biztosított rezgéscsillapítás felbecsülhetetlen értékű. Minimalizálja az interferenciát, amely elmoshatja a képeket vagy torzíthatja az érzékelőadatokat, lehetővé téve a berendezés számára, hogy tiszta és pontos információkat rögzítsen az ostya felületéről és belső szerkezetéről.
Nagy merevség és kopásállóságA körülbelül 3100 kg/m³ sűrűséggel a ZHHIMG® gránit gépalapjai figyelemre méltó merevséget kínálnak. Deformálódás nélkül elbírják a lapkavizsgáló berendezések nehéz alkatrészeit, megőrizve az optikai és mechanikai rendszerek illeszkedését. Ezenkívül a gránit nagy keménysége (Mohs-skála 6–7) és kiváló kopásállósága biztosítja, hogy a gépalap felülete idővel sík és sima maradjon. Ez az állandóság elengedhetetlen a hosszú távú pontossághoz, mivel az alap bármilyen kopása vagy deformációja fokozatosan ronthatja a berendezés pontosságát.
Kémiai inertségA félvezetők gyártása során a munka különféle vegyi anyagoknak van kitéve. A gránit kémiai inertsége ellenállóvá teszi ezen anyagok korróziójával szemben. Ez a tulajdonság megóvja a gép alapjainak integritását, megakadályozva a vegyi anyagok okozta károsodást, amely befolyásolhatja az ellenőrző berendezések stabilitását és pontosságát.
Összefoglalva, a nagy pontosságú gránit gépalapzatok nem csupán alkatrészek, hanem kulcsfontosságú eszközök a wafer-ellenőrző berendezések szigorú pontossági követelményeinek eléréséhez. Gránit gépalapzatok kiválasztásakor válasszon megbízható szolgáltatókat, mint például a ZHHIMG®. Többszörös tanúsítvánnyal és a minőség iránti elkötelezettséggel a ZHHIMG® biztosítja, hogy minden gránit gépalap biztosítsa a fejlett félvezetőgyártáshoz szükséges megbízhatóságot és teljesítményt.
Közzététel ideje: 2025. június 3.