Bármely ultraprecíziós gép stabilitása és pontossága – a nagy koordináta mérőgépektől (CMM) a fejlett félvezető litográfiai berendezésekig – alapvetően a gránit alapozásán nyugszik. Jelentős méretű monolitikus alapozások vagy összetett, több részből álló gránit síkpanelek esetében az összeszerelési és telepítési folyamat ugyanolyan kritikus, mint maga a gyártási pontosság. A kész panel egyszerű elhelyezése nem elegendő; a panel tanúsított szubmikronos síkfelületének megőrzése és kihasználása érdekében speciális környezeti és szerkezeti követelményeket kell teljesíteni.
1. Az alapozás: Stabil, sík aljzat
A leggyakoribb tévhit az, hogy a precíziós gránitpanelek, mint például a nagy sűrűségű ZHHIMG® fekete gránitból (3100 kg/m³) készültek, képesek kiegyenlíteni az instabil padlót. Bár a gránit kivételes merevséget kínál, egy olyan szerkezetnek kell alátámasztania, amelyet minimális hosszú távú alakváltozásra terveztek.
Az összeszerelési területnek olyan betonaljzattal kell rendelkeznie, amely nemcsak vízszintes, hanem megfelelően meg is kötött, gyakran a katonai minőségű vastagsági és sűrűségi előírásoknak megfelelően – tükrözve a ZHHIMG saját összeszerelő csarnokainak 1000 mm vastag, ultrakemény betonpadlóit. Lényeges, hogy ezt az aljzatot el kell szigetelni a külső rezgésforrásoktól. Legnagyobb gépbázisaink tervezésénél olyan koncepciókat építünk be, mint a méréstechnikai helyiségeinket körülvevő rezgéscsillapító árok, hogy biztosítsuk az alap statikus és elszigeteltségét.
2. A szigetelőréteg: fuga és szintezés
A gránitlap és a beton alapozás közötti közvetlen érintkezést szigorúan kerülni kell. A gránit alapot meghatározott, matematikailag kiszámított pontokon kell alátámasztani a belső feszültségek kiküszöbölése és a tanúsított geometria megőrzése érdekében. Ehhez professzionális szintezőrendszerre és fugázó rétegre van szükség.
Miután a panelt pontosan elhelyezték állítható szintező emelők vagy ékek segítségével, nagy szilárdságú, nem zsugorodó, precíziós habarcsot pumpálnak a gránit és az aljzat közötti üregbe. Ez a speciális habarcs megköt, és nagy sűrűségű, egyenletes határfelületet képez, amely egyenletesen osztja el a panel súlyát, megakadályozva a megereszkedést vagy torzulást, amely egyébként belső feszültséget okozhatna és idővel ronthatná az egyenletességet. Ez a lépés hatékonyan átalakítja a gránitpanelt és az alapot egyetlen, összefüggő és merev tömeggé.
3. Termikus és időbeli egyensúly
Mint minden nagy pontosságú méréstechnikai munkánál, a türelem itt is elengedhetetlen. A gránitlemeznek, a fugázóanyagnak és a betonfelületnek is el kell érnie a termikus egyensúlyt a környező üzemi környezettel, mielőtt elvégeznék a végső illesztési ellenőrzéseket. Ez a folyamat nagyon nagy panelek esetében napokig is eltarthat.
Továbbá a szintezési beállítást – amelyet olyan eszközökkel végeznek, mint a lézeres interferométerek és az elektronikus szintezők – lassú, apró lépésekben kell elvégezni, időt hagyva az anyagnak leülepedni. Szigorú globális méréstechnikai szabványokat (DIN, ASME) betartó mestertechnikusaink tisztában vannak azzal, hogy a végső szintezés elhamarkodott elvégzése rejtett feszültséget okozhat, amely később a pontosság eltolódásaként jelentkezik.
4. Alkatrészek integrációja és egyedi összeszerelés
A ZHHIMG egyedi gránit alkatrészei vagy gránit síkpaneljei esetében, amelyek lineáris motorokat, légcsapágyakat vagy CMM síneket integrálnak, a végső összeszerelés abszolút tisztaságot igényel. A félvezető berendezések környezetét utánzó, erre a célra kialakított tiszta összeszerelő helyiségeink azért szükségesek, mert még a gránit és a fém alkatrész közé szorult mikroszkopikus porrészecskék is mikrodeformációt okozhatnak. Minden csatlakozási pontot aprólékosan meg kell tisztítani és ellenőrizni kell a végső rögzítés előtt, biztosítva, hogy az alkatrész méretstabilitása hibátlanul átkerüljön magába a géprendszerbe.
Ezen szigorú követelmények betartásával az ügyfelek biztosítják, hogy ne csupán egy alkatrészt telepítsenek, hanem sikeresen meghatározzák a végső adatlapot ultraprecíziós berendezéseikhez – ezt az alapot a ZHHIMG anyagtudományi és gyártási szakértelme garantálja.
Közzététel ideje: 2025. október 29.