A gránit gépalapokat széles körben használják a waferfeldolgozó berendezésekben, kiváló tulajdonságaik, például nagy merevségük, stabilitásuk és pontosságuk miatt. A gránit gépalap összeszerelése, tesztelése és kalibrálása kritikus folyamat, amely a részletekre, a precizitásra és a pontosságra való legnagyobb figyelmet igényli. Ebben a cikkben lépésről lépésre ismertetjük a gránit gépalap összeszerelésének, tesztelésének és kalibrálásának folyamatát waferfeldolgozó berendezésekhez.
Összeszerelés
Az első lépés a gránit felületlap, az alap és az oszlop előkészítése az összeszereléshez. Győződjön meg arról, hogy minden felület tiszta, száraz, és mentes minden törmeléktől, portól vagy olajtól. Helyezze be a szintezőcsapokat az alapba, és helyezze rá a felületlapot. Állítsa be a szintezőcsapokat úgy, hogy a felületlap vízszintes és egyenes legyen. Győződjön meg arról, hogy a felületlap egy síkban van az alappal és az oszloppal.
Ezután szerelje fel az oszlopot az alapra, és rögzítse csavarokkal. Nyomatékkulccsal húzza meg a csavarokat a gyártó által ajánlott nyomatékkal. Ellenőrizze az oszlop szintjét, és szükség esetén állítsa be a szintezőcsapokat.
Végül szerelje fel az orsószerelvényt az oszlop tetejére. Nyomatékkulccsal húzza meg a csavarokat a gyártó által ajánlott nyomatékértékkel. Ellenőrizze az orsószerelvény szintjét, és szükség esetén állítsa be a szintezőcsapokat.
Tesztelés
A gép alapjának összeszerelése után a következő lépés a működés és a pontosság ellenőrzése. Csatlakoztassa a tápegységet, és kapcsolja be a gépet. Győződjön meg arról, hogy minden alkatrész, például a motorok, fogaskerekek, szíjak és csapágyak megfelelően működnek, és nincsenek rendellenességek vagy szokatlan zajok.
A gép pontosságának teszteléséhez használjon precíziós mérőórát az orsó kifutásának mérésére. Állítsa a mérőórát a felületlapra, és forgassa el az orsót. A maximálisan megengedett kifutásnak kisebbnek kell lennie, mint 0,002 mm. Ha a kifutás nagyobb, mint a megengedett határérték, állítsa be a szintezőcsapokat, és ellenőrizze újra.
Kalibráció
A kalibrálás a gépalap pontosságának és precizitásának biztosításában kulcsfontosságú lépés. A kalibrálási folyamat magában foglalja a gép paramétereinek, például a sebességnek, a pozicionálásnak és a pontosságnak a tesztelését és beállítását annak biztosítása érdekében, hogy a gép megfeleljen a gyártó specifikációinak.
A gép kalibrálásához kalibráló eszközre lesz szüksége, amely lehet lézeres interferométer, lézerkövető vagy körmérő. Ezek az eszközök nagy pontossággal mérik a gép mozgását, helyzetét és beállítását.
Kezdje a gép lineáris és szögtengelyeinek mérésével. Használja a kalibráló eszközt a gép mozgásának és pozíciójának mérésére egy megadott távolságon vagy szögben. Hasonlítsa össze a mért értékeket a gyártó specifikációival. Ha bármilyen eltérés van, állítsa be a gép paramétereit, például a motorokat, fogaskerekeket és hajtásokat, hogy a mért értékek a megengedett határokon belül legyenek.
Ezután tesztelje a gép körinterpolációs funkcióját. Használja a kalibráló eszközt egy körpálya létrehozásához, és mérje meg a gép mozgását és pozícióját. Ismét hasonlítsa össze a mért értékeket a gyártó specifikációival, és szükség esetén állítsa be a paramétereket.
Végül tesztelje a gép ismételhetőségét. Mérje meg a gép helyzetét különböző pontokon egy meghatározott időszak alatt. Hasonlítsa össze a mért értékeket, és ellenőrizze az esetleges eltéréseket. Ha bármilyen eltérés van, állítsa be a gép paramétereit, és ismételje meg a tesztet.
Következtetés
A gránit gépalap összeszerelése, tesztelése és kalibrálása ostyafeldolgozó berendezésekhez kritikus folyamat, amely türelmet, részletekre való odafigyelést és precizitást igényel. A következő lépések betartásával biztosíthatja, hogy a gép megfeleljen a gyártó specifikációinak és pontosan, stabilan és precízen működjön.
Közzététel ideje: 2023. dec. 28.