Az olyan területeken, mint a félvezetőgyártás és a precíziós mérőműszerek, a gránit precíziós platformok pontossága közvetlenül meghatározza a berendezések működési minőségét. Annak biztosítása érdekében, hogy a platform pontossága megfeleljen a szabványoknak, két szempontból kell erőfeszítéseket tenni: a kulcsfontosságú mutatók észlelése és a szabványos normák betartása.
Magindikátor-érzékelés: A pontosság többdimenziós szabályozása
Síkfelület-érzékelés: A referenciasík "síkfelületének" meghatározása
A gránit precíziós platformok alapvető mutatója a síkfelület, amelyet általában lézeres interferométerekkel vagy elektronikus szintezőkkel mérnek. A lézeres interferométer lézersugár kibocsátásával és a fényinterferencia elvének alkalmazásával képes pontosan mérni a platform felületén lévő apró egyenetlenségeket, a mikron alatti pontossággal. Az elektronikus szintező többszöri elmozdulással mér, és a platform felületének háromdimenziós kontúrtérképét rajzolja meg, hogy észlelje, vannak-e lokális kiemelkedések vagy bemélyedések. Például a félvezető fotolitográfiai gépekben használt gránit platformoknak ±0,5 μm/m síkfelülettel kell rendelkezniük, ami azt jelenti, hogy az 1 méteres hosszúságon belüli magasságkülönbség nem haladhatja meg a fél mikrométert. Ez a szigorú szabvány csak nagy pontosságú érzékelő berendezésekkel biztosítható.
2. Egyenesség-érzékelés: Biztosítsa a lineáris mozgás "egyenességét"
A precíziós mozgó alkatrészeket hordozó platformok esetében az egyenesség létfontosságú. Az érzékelés gyakori módszerei a huzalos módszer vagy a lézeres kollimátor. A huzalos módszer nagy precíziós acélhuzalok felfüggesztését és a platform felülete és az acélhuzalok közötti rés összehasonlítását jelenti az egyenesség meghatározásához. A lézeres kollimátor a lézer lineáris terjedési jellemzőit használja ki a platform vezetősínének telepítési felületének lineáris hibájának érzékelésére. Ha az egyenesség nem felel meg a szabványnak, az a berendezés mozgás közbeni elmozdulását okozza, ami befolyásolja a feldolgozás vagy a mérési pontosságot.
3. Felületi érdesség érzékelése: Biztosítsa az érintkezés "finomságát"
A platform felületi érdessége befolyásolja az alkatrész beszerelésének illeszkedését. Általában egy tapintós érdességmérőt vagy optikai mikroszkópot használnak a detektáláshoz. A tapintós típusú műszer a platform felületét egy finom szondával megérintve rögzíti a mikroszkopikus profil magasságváltozásait. Az optikai mikroszkópok közvetlenül megfigyelhetik a felület textúráját. Nagy pontosságú alkalmazásokban a gránit platformok felületi érdességét Ra≤0,05 μm értéken kell szabályozni, ami tükörhatásnak felel meg, biztosítva a precíziós alkatrészek szoros illeszkedését a beszerelés során, és elkerülve a rések okozta rezgést vagy elmozdulást.
A precíziós szabványok a következőket követik: nemzetközi normák és a vállalat belső ellenőrzése
Jelenleg nemzetközi szinten az ISO 25178 és a GB/T 24632 szabványokat használják általánosan a gránit platformok pontosságának meghatározására, és egyértelmű osztályozások léteznek olyan mutatókra, mint a síkfelület és az egyenesség. Ezenkívül a csúcskategóriás gyártóvállalatok gyakran szigorúbb belső ellenőrzési szabványokat határoznak meg. Például a fotolitográfiai gép gránit platformjának síkfelületi követelménye 30%-kal magasabb, mint a nemzetközi szabvány. Vizsgálatok elvégzése során a mért adatokat össze kell hasonlítani a megfelelő szabványokkal. Csak azok a platformok biztosíthatják a stabil teljesítményt a precíziós berendezésekben, amelyek teljes mértékben megfelelnek a szabványoknak.
A gránit precíziós platformok pontosságának ellenőrzése szisztematikus feladat. Csak az olyan alapvető mutatók szigorú tesztelésével, mint a síkfelület, az egyenesség és a felületi érdesség, valamint a nemzetközi és vállalati szabványok betartásával garantálható a platform nagy pontossága és megbízhatósága, szilárd alapot teremtve a csúcskategóriás gyártási területek, például a félvezetők és a precíziós műszerek számára.
Közzététel ideje: 2025. május 21.