A gránit kemény és tartós anyag, amelyet gyakran használnak az építőiparban.Vannak azonban olyan tulajdonságai is, amelyek hasznossá teszik a félvezetőgyártásban, különösen az integrált áramkörök gyártása és feldolgozása során.A gránit alkatrészeket, például a gránit asztalokat és gránittömböket széles körben használják stabilitásuk, laposságuk és alacsony hőtágulási együtthatójuk miatt.
A gránitkomponensek egyik elsődleges felhasználási területe a félvezetőgyártásban a gyártási folyamat.A szilícium lapkákat, az integrált áramkörök alapvető építőköveit nagy precizitással és pontossággal kell legyártani.Bármilyen torzulás vagy elmozdulás a folyamat során olyan hibákhoz vezethet, amelyek befolyásolhatják az integrált áramkörök minőségét és működését.A gránit asztalok nagy stabilitásukkal és síkságukkal jó alapot biztosítanak az ostyafeldolgozó berendezések számára.Ellenállnak a hőtágulásnak és összehúzódásnak is, amelyet a folyamathoz szükséges fűtés és hűtés okoz.
A gránitblokkokat a félvezető-feldolgozásban is használják termikus stabilitásuk miatt.A maratási vagy leválasztási folyamatok során forró gázokat vagy plazmákat használnak a szilícium lapka felületének módosítására.Az ostya hőmérsékletét ellenőrizni kell a folyamat hatékony és pontos végrehajtása érdekében.A gránittömbök alacsony hőtágulási együtthatójukkal hozzájárulnak az ostya hőmérsékletének stabilizálásához, csökkentve a hőmérséklet-ingadozások kockázatát, amelyek befolyásolhatják a feldolgozott anyag minőségét.
A gyártási és feldolgozási folyamatokon kívül a gránit alkatrészeket a félvezetőgyártás metrológiai és ellenőrzési szakaszaiban is használják.Metrológiai méréseket végeznek annak biztosítására, hogy az ostyán lévő szerkezetek mérete, alakja és helyzete az előírt előírásokon belül legyen.Ezekben a mérésekben a gránittömböket referencia standardként használják méretstabilitásuk és pontosságuk miatt.Az ellenőrzési szakaszokban is használatosak, ahol az integrált áramkörök minőségét nagy nagyítással ellenőrzik.
Összességében elmondható, hogy az elmúlt években megnövekedett a gránitkomponensek használata a félvezetőgyártásban.Az integrált áramkörök gyártása és feldolgozása során a nagy pontosság, pontosság és stabilitás iránti igény ösztönözte ezeket az anyagokat a félvezetőgyártók által.A gránit egyedülálló tulajdonságai, mint keménysége, stabilitása és alacsony hőtágulási együtthatója kiváló választássá teszik ezekben a folyamatokban.A félvezető technológia folyamatos fejlesztésével és fejlesztésével a gránitkomponensek felhasználása várhatóan tovább fog növekedni a jövőben.
Feladás időpontja: 2023. december 05