A gránit egy kemény és tartós anyag, amelyet gyakran használnak az építőiparban. Ugyanakkor olyan tulajdonságokkal is rendelkezik, amelyek hasznossá teszik a félvezetőgyártásban, különösen az integrált áramkörök gyártásában és feldolgozásában. A gránit alkatrészek, mint például a gránitasztalok és gránittömbök, széles körben használatosak stabilitásuk, sík felületük és alacsony hőtágulási együtthatójuk miatt.
A gránit alkatrészek egyik fő felhasználási területe a félvezetőgyártásban a gyártási folyamat. A szilíciumlapkákat, az integrált áramkörök alapvető építőelemeit, nagy pontossággal és precizitással kell gyártani. A folyamat során fellépő bármilyen torzulás vagy mozgás hibákhoz vezethet, amelyek befolyásolhatják az integrált áramkörök minőségét és működését. A gránit asztalok nagy stabilitásukkal és sík felületükkel jó alapot biztosítanak a lapkafeldolgozó berendezések számára. Emellett ellenállnak a folyamat során szükséges fűtés és hűtés okozta hőtágulással és összehúzódással szemben.
A gránittömböket a félvezető-feldolgozásban is használják hőstabilitásuk miatt. A maratás vagy leválasztás során forró gázokat vagy plazmákat használnak a szilíciumlapka felületének módosítására. A lapka hőmérsékletét szabályozni kell annak biztosítása érdekében, hogy a folyamat hatékonyan és pontosan menjen végbe. A gránittömbök alacsony hőtágulási együtthatójukkal segítenek stabilizálni a lapka hőmérsékletét, csökkentve a hőmérséklet-ingadozások kockázatát, amelyek befolyásolhatják a feldolgozott anyag minőségét.
A gyártási és feldolgozási folyamatokon kívül a gránit alkatrészeket a félvezetőgyártás metrológiai és ellenőrzési szakaszaiban is használják. Metrológiai méréseket végeznek annak biztosítására, hogy a lapkán lévő szerkezetek mérete, alakja és helyzete a szükséges specifikációknak megfeleljen. A gránittömböket referenciaként használják ezekben a mérésekben méretstabilitásuk és pontosságuk miatt. Ellenőrzési szakaszokban is használják őket, ahol az integrált áramkörök minőségét nagy nagyítás alatt ellenőrzik.
Összességében a gránit alkatrészek félvezetőgyártásban való felhasználása az elmúlt években megnőtt. Az integrált áramkörök gyártása és feldolgozása során a nagy pontosság, precizitás és stabilitás iránti igény ösztönözte ezen anyagok félvezetőgyártók általi alkalmazását. A gránit egyedi tulajdonságai, mint például a keménysége, stabilitása és alacsony hőtágulási együtthatója, kiváló választássá teszik ezekben a folyamatokban való felhasználásra. A félvezető technológia folyamatos fejlesztésével és tökéletesítésével a gránit alkatrészek felhasználása várhatóan tovább fog növekedni a jövőben.
Közzététel ideje: 2023. dec. 05.