A gránit anyagokat széles körben használják a félvezetőiparban kiváló tulajdonságaik miatt, mint például a nagy stabilitás, az alacsony hőtágulás és a nagy korrózióállóság.Ezek a tulajdonságok a gránitot ideális anyaggá teszik az ostyaátviteli rendszer nagy pontosságú alkatrészeinek építéséhez.
A félvezető gyártási folyamatban az ostyaátviteli rendszer kritikus szerepet játszik az ostyák szállításában a gyártási folyamat különböző szakaszaiban.A precizitás és a pontosság alapvető követelmény ezeknél a rendszereknél, mivel már kis eltérések is veszélyeztethetik az egész folyamatot.Ezért az ostyaátviteli rendszer alkatrészeinek jó minőségű anyagokból kell készülniük, és a gránit megfelel ezeknek a kritériumoknak.
Az ostyaátviteli rendszer gránitanyagból készült részei a következők:
1. Vákuumos tokmány asztal
A vákuumos tokmányasztal az ostya rögzítésére szolgál a folyamat során, és stabil felülettel kell rendelkeznie, hogy az ostya ne sérüljön meg.A gránit ideális anyag ennek az asztalnak az elkészítéséhez, mert lapos, nem porózus felülete nagy stabilitást és pontosságot biztosít.Ezenkívül a gránit alacsony hőtágulási együtthatóval rendelkezik, így ellenáll a hőmérséklet-változásoknak, amelyek az ostya méretváltozását okozhatják.
2. Légcsapágyas fokozat
A levegős csapágyas szakasz az ostya szállítására szolgál a gyártási folyamat különböző szakaszaiban.A színpadot úgy tervezték, hogy súrlódásmentes mozgást biztosítson, ami nagy pontosságot és stabilitást igényel.A gránitot azért használják ebben az alkalmazásban, mert merev és kemény kő, és ellenáll az idő múlásával történő deformációnak és kopásnak.
3. Lineáris mozgásvezetők
A lineáris mozgásvezetők a légcsapágyas fokozat megvezetésére szolgálnak, és azokat pontosan kell elhelyezni a hibák minimalizálása érdekében.Ennek az útmutatónak a készítéséhez gránitot használnak, mivel kiváló mechanikai stabilitással és szilárdsággal rendelkezik.Az anyag korrózióálló is, ami biztosítja a vezetőrendszer hosszú élettartamát.
4. Metrológiai berendezések
Metrológiai berendezést használnak az ostya méreteinek és tulajdonságainak mérésére a gyártási folyamat során.A gránit ideális anyag ennek a berendezésnek az építéséhez, mert nagy a merevsége, alacsony a tágulása és minimális a terhelés alatti deformációja.Ezenkívül a gránit termikus stabilitása biztosítja, hogy a metrológiai berendezés stabil és pontos maradjon az idő múlásával.
Összefoglalva, a félvezetőipar a precizitáson és pontosságon alapul, és a gránitanyagok rendkívül megbízhatónak és stabilnak bizonyultak a gyártási folyamatban.Mivel az ostyaátviteli rendszer számos kritikus alkatrésze nagy stabilitást, pontosságot és alacsony hőtágulást igényel, a mérnökök a gránitanyagokhoz fordultak, hogy megfeleljenek ezeknek a kritikus követelményeknek.
Feladás időpontja: 2024. március 19