A gránitanyagokat széles körben használják a félvezetőiparban kiváló tulajdonságaik, például nagy stabilitásuk, alacsony hőtágulásuk és magas korrózióállóságuk miatt. Ezek a tulajdonságok ideális anyaggá teszik a gránitot nagy pontosságú alkatrészek gyártásához waferátviteli rendszerekben.
A félvezetőgyártási folyamatban a szelettovábbító rendszer kritikus szerepet játszik a szeletek gyártási folyamat különböző szakaszai közötti szállításában. A precizitás és a pontosság alapvető követelmény ezeknél a rendszereknél, mivel még a kis eltérések is veszélyeztethetik az egész folyamatot. Ezért a szelettovábbító rendszer alkatrészeinek kiváló minőségű anyagokból kell készülniük, és a gránit megfelel ezeknek a kritériumoknak.
A ostyaátviteli rendszer néhány, gránit anyagokból készült része a következő:
1. Vákuumtokmányos asztal
A vákuumos asztalt az ostya rögzítésére használják a folyamat során, és stabil felülettel kell rendelkeznie, hogy az ostya ne sérüljön. A gránit ideális anyag ehhez az asztalhoz, mivel sík, nem porózus felülettel rendelkezik, amely nagy stabilitást és pontosságot biztosít. Ezenkívül a gránit alacsony hőtágulási együtthatóval rendelkezik, így ellenáll a hőmérsékletváltozásoknak, amelyek méretváltozásokat okozhatnak az ostyában.
2. Légcsapágyas fokozat
A légcsapágyas állvány a lapka gyártási folyamat különböző szakaszain keresztüli szállítására szolgál. A állványt úgy tervezték, hogy súrlódásmentes mozgást biztosítson, ami nagy pontosságot és stabilitást igényel. A gránitot ebben az alkalmazásban azért használják, mert merev és kemény kőzet, és ellenáll a deformációnak és a kopásnak az idő múlásával.
3. Lineáris mozgásvezetők
A lineáris mozgásvezetőket a légcsapágyas színpad vezetésére használják, és a hibák minimalizálása érdekében pontosan kell elhelyezni őket. A vezető gránitból készül, mivel kiváló mechanikai stabilitással és szilárdsággal rendelkezik. Az anyag korrózióálló is, ami biztosítja a vezetőrendszer hosszú élettartamát.
4. Metrológiai berendezések
A méréstechnikai berendezéseket a gyártási folyamat során a lapka méreteinek és tulajdonságainak mérésére használják. A gránit ideális anyag ehhez a berendezéshez, mivel nagy merevséggel, alacsony tágulási hajlammal és minimális alakváltozással rendelkezik terhelés alatt. Ezenkívül a gránit hőstabilitása biztosítja, hogy a méréstechnikai berendezés idővel stabil és pontos maradjon.
Összefoglalva, a félvezetőipar a precizitásra és a pontosságra támaszkodik, és a gránit anyagok rendkívül megbízhatónak és stabilnak bizonyultak a gyártási folyamatban. Mivel a waferátviteli rendszer számos kritikus alkatrésze nagy stabilitást, precizitást és alacsony hőtágulást igényel, a mérnökök a gránit anyagokhoz fordultak, hogy megfeleljenek ezeknek a kritikus követelményeknek.
Közzététel ideje: 2024. márc. 19.