A gránitágy fontos alkotóeleme a különféle félvezető eszközöknek. Rendkívül stabil és merev anyagként a gránitot széles körben használják félvezető-feldolgozó berendezések alapjaként. Alacsony hőtágulási együtthatója, nagy méretstabilitása és kiváló mechanikai tulajdonságai jellemzik. Ezen tulajdonságok miatt a gránitágyat leggyakrabban három különböző típusú félvezető eszközben használják - méréstechnikai berendezésekben, litográfiai berendezésekben és ellenőrző berendezésekben.
A metrológiai berendezéseket a félvezető eszközök kritikus méreteinek mérésére és érzékelésére használják. Kulcsfontosságú szerepet játszanak a félvezetőgyártási folyamat minőségének és állandóságának fenntartásában. A metrológiai berendezések közé tartoznak az olyan műszerek, mint az optikai mikroszkópok, az elektronmikroszkópok és az atomerő-mikroszkópok (AFM-ek). Mivel ezeknek a mérőeszközöknek a teljesítménye a stabilitásuktól, pontosságuktól és rezgésállóságuktól függ, a gránit az ideális választás ágyazati anyagukhoz. A gránitágy egyenletessége és stabilitása stabil platformot biztosít a műszerek számára, ami növeli azok pontosságát és megbízhatóságát.
A litográfiai berendezéseket a mikrochip mintázatok elkészítésére használják az ostyán. A litográfiai eljárás nagyfokú precizitást és pontosságot igényel az összetett áramkörök létrehozása és a chip teljesítményének javítása érdekében. A litográfiai berendezések léptető és szkenner rendszereket tartalmaznak, amelyek fény segítségével viszik át a képeket az ostyára. Mivel a litográfiai eljárás nagyon érzékeny a rezgésre és a hőváltozásokra, a litográfiai eljárás stabilitásának és megismételhetőségének biztosításához elengedhetetlen a kiváló minőségű ágy. A gránitágyak biztosítják a litográfiai rendszerekhez szükséges stabilitást és szigorú rezgéscsillapítási teljesítményt. A gránitágy lehetővé teszi a léptető vagy szkenner rendszer számára a precíz térbeli kapcsolatok fenntartását, biztosítva a nagy pontosságot és a végtermék minőségét.
Az ellenőrző berendezéseket a félvezető eszközök hibáinak észlelésére használják. Az ellenőrző berendezések közé tartoznak olyan rendszerek, mint a lézeres pásztázó mikroszkópok, az elektronmikroszkópok és az optikai mikroszkópok. Mivel ezeknek az eszközöknek nagy pontosságúnak, stabilnak és rezgésállónak kell lenniük, a gránitágyak a tökéletes anyag. A gránit mechanikai tulajdonságai és méretstabilitása segít a rezgésszigetelésben, ami növeli az ellenőrző berendezések kimenetének pontosságát.
Összefoglalva, a gránitágy kulcsfontosságú a félvezetőipar számára, és széles körben használják különféle berendezésekben. Egyedülálló tulajdonságai, mint például a méretstabilitás, az alacsony hőtágulási együttható és a kiváló mechanikai stabilitás, ideális választássá teszik a gránitot a félvezető berendezések ágyazatának anyagához. Mivel a kiváló minőségű gránitágy biztosítja a félvezető berendezések számára a szükséges stabilitást, pontosságot és rezgésállóságot, végső soron javítja a végtermék minőségét. Ezért a gránitágy félvezető berendezésekben való használata biztosan folytatódni fog az elkövetkező években.
Közzététel ideje: 2024. április 3.