A gránitágy fontos elem a különféle félvezető eszközökben. Nagyon stabil és merev anyagként a gránit széles körben használják a félvezető feldolgozó berendezések alapjául. Ezt jellemzi alacsony hőtágulási együtthatója, nagy dimenziós stabilitása és kiváló mechanikai tulajdonságai. Ezen tulajdonságok miatt a gránit ágyat leggyakrabban három különféle félvezető eszközben használják - metrológiai berendezések, litográfiai berendezések és ellenőrző berendezések.
A metrológiai berendezéseket a félvezető eszközök kritikus dimenzióinak mérésére és észlelésére használják. Alapvető szerepet játszik a félvezető gyártási folyamat minőségének és konzisztenciájának fenntartásában. A metrológiai berendezés olyan műszereket tartalmaz, mint az optikai mikroszkópok, az elektronmikroszkópok és az atomi erőmikroszkópok (AFMS). Mivel ezeknek a mérőeszközöknek a teljesítménye stabilitástól, pontosságától és vibráció ellenállásától függ, a gránit ideális választás ágyanyaghoz. A gránit ágy egységessége és stabilitása stabil platformot biztosít a műszerek számára, ami javítja azok pontosságát és megbízhatóságát.
A litográfiai berendezést használják az ostya mikrochip mintáinak előállításához. A litográfiai folyamat magas pontosságot és pontosságot igényel az összetett áramkörök létrehozásához és a chip teljesítményének javításához. A litográfiai berendezés olyan léptető- és szkennerrendszereket tartalmaz, amelyek fényt használnak a képek átadására az ostyára. Mivel a litográfiai folyamat nagyon érzékeny a rezgésre és a termikus változásokra, elengedhetetlen a kiváló minőségű ágy a litográfiai folyamat stabilitásának és megismételhetőségének biztosításához. A gránitágyak biztosítják a szükséges stabilitást és a szigorú rezgéscsillapító teljesítményt a litográfiai rendszerek számára. A gránit ágy lehetővé teszi a léptető- vagy szkennerrendszer számára, hogy fenntartsa a pontos térbeli kapcsolatokat, biztosítva a nagy pontosságot és a végtermék minőségét.
Az ellenőrző berendezéseket a félvezető eszközök hibáinak észlelésére használják. Az ellenőrző berendezések olyan rendszereket tartalmaznak, mint például a lézeres szkennelés mikroszkópok, az elektronmikroszkópok és az optikai mikroszkópok. Mivel ezeknek az eszközöknek nagyon pontos, stabil és rezgés-rezisztensnek kell lennie, a gránitágyak a tökéletes anyag. A gránit mechanikai tulajdonságai és méret stabilitása segít a rezgés elkülönítésében, ami javítja az ellenőrző berendezés kimenetének pontosságát.
Összegezve, a gránitágy kulcsfontosságú a félvezető ipar számára, és széles körben használják különféle típusú berendezésekben. Egyedülálló tulajdonságai, mint például a dimenziós stabilitás, az alacsony hőtágulási együttható és a kiváló mechanikai stabilitás, a gránit ideális választássá teszi a félvezető berendezések ágy anyagát. Mivel a kiváló minőségű gránitágy biztosítja a szükséges stabilitást, pontosságot és rezgésállóságot a félvezető berendezéssel szemben, végül javítja a végtermék minőségét. Ezért a gránitágy félvezető berendezésekben történő használata biztosan folytatódik az elkövetkező években.
A postai idő: április-03-2024