A félvezetőgyártás precíz láncában a waferátviteli rendszer olyan, mint a "chipgyártósor mentőöve", és stabilitása és pontossága közvetlenül meghatározza a chipek hozamát. Az új generációs waferátviteli rendszerek forradalmian ötvözik a lineáris motorokat a gránit alapokkal, és a gránit anyagok egyedi előnyei pontosan azok az alapvető kódok, amelyek feloldják a nagy teljesítményű átvitelt.
Gránit alap: „Szilárd alap” építése a stabil átvitelhez
A gránit, amely több százmillió éves geológiai finomodáson ment keresztül, sűrű és egyenletes belső ásványi kristályosodással rendelkezik. Ez a természetes tulajdonság ideális alapanyaggá teszi a félvezető-tisztaterek átviteli rendszereihez. A félvezető-tisztaterek komplex környezetében a gránit rendkívül alacsony hőtágulási együtthatójával (mindössze 5-7 ×10⁻⁶/℃) ellenáll a berendezések működése során keletkező hőnek és a környezeti hőmérséklet-változások hatásának, biztosítva az alapméret stabilitását és elkerülve a hődeformáció okozta átviteli útvonal-eltérést. Kiemelkedő rezgéscsillapító teljesítménye gyorsan elnyeli a lineáris motorok indítása, leállítása és gyorsítása során keletkező mechanikai rezgéseket, valamint a műhelyben lévő egyéb berendezések működése által okozott külső interferenciákat, stabil platformot biztosítva "nulla rázkódás" mellett a szeletek átviteléhez.
Eközben a gránit kémiai stabilitása biztosítja, hogy ne korrodálódjon vagy rozsdásodjon a félvezetőgyártó műhelyekben, ahol a savas és lúgos reagensek illékonyak és nagy tisztaságra van szükség, így elkerülhető az anyag öregedése vagy a szennyező anyagok adszorpciója miatti átviteli pontosságra gyakorolt hatás. A sima és tömör felületi jellemzők hatékonyabban csökkenthetik a por tapadását, megfelelnek a tiszta helyiségek szigorú pormentességi szabványainak, és kiküszöbölik a lapka gyökeréből történő szennyeződés kockázatát.
A lineáris motorok és a gránit „arany partnerség” hatása
A lineáris motorok, amelyek mechanikus átviteli hézag nélküliek, nagy gyorsulást és nagy válaszidőt mutatnak, a "gyors, pontos és stabil" előnyökkel ruházza fel a lapkaátvitelt. A gránit alap szilárd és megbízható tartóplatformot biztosít ehhez. A kettő együttesen teljesítményugrást ér el. Amikor a lineáris motor a lapkatartót a gránit alappályán hajtja, az alap erős merevsége és stabilitása biztosítja a motor hajtóerejének hatékony átvitelét, elkerülve az alap deformációja által okozott erőveszteséget vagy átviteli késést.
A nanoskálájú pontosság iránti igény vezérli a lineáris motorokat, amelyek képesek szubmikronos szintű elmozdulásszabályozást elérni. A gránit talpak nagy pontosságú feldolgozási jellemzői (±1 μm-en belül szabályozott síkfelületi hibákkal) tökéletesen illeszkednek a lineáris motorok precíz vezérléséhez, együttesen biztosítva, hogy a szeletátvitel során a pozicionálási hiba kisebb legyen, mint ±5 μm. Akár nagy sebességű ingadozásról van szó a különböző folyamatberendezések között, akár precíz parkolásról a szeletátadáshoz, a lineáris motorok és a gránit talpak kombinációja biztosíthatja a „nulla eltérést és nulla jittert” a szeletátvitelben.
Iparági gyakorlat igazolása: Kettős javulás a hatékonyság és a hozam tekintetében
Egy vezető globális félvezetőgyártó vállalat a wafer átviteli rendszerének korszerűsítése után lineáris motor + gránit alap megoldást vezetett be, amely 40%-kal növelte a wafer átviteli hatékonyságát, 85%-kal csökkentette az olyan hibák előfordulási arányát az átviteli folyamat során, mint az ütközés és az eltolás, és 6%-kal javította a chipek teljes hozamát. Az adatok mögött a gránit alap által biztosított átviteli stabilitás garanciája, valamint a lineáris motor nagy sebességű és precíz szinergiahatása rejlik, amely jelentősen csökkenti a wafer átviteli folyamatában fellépő veszteséget és hibákat.
Az anyagtulajdonságoktól a precíziós gyártásig, a teljesítménybeli előnyöktől a gyakorlati ellenőrzésig, a lineáris motorok és a gránit talpak kombinációja újraértelmezte a wafer átviteli rendszerek szabványait. A jövőben, amikor a félvezető technológia a 3 nm-es és 2 nm-es eljárások felé halad, a gránit anyagok minden bizonnyal továbbra is erős lendületet adnak majd az iparág fejlődésének pótolhatatlan előnyeikkel.
Közzététel ideje: 2025. május 14.