Míg egy gránit platform egyszerű kőlapnak tűnhet, a kiválasztási kritériumok drasztikusan megváltoznak, amikor a hagyományos ipari alkalmazásokról a nagy téttel bíró optikai ellenőrzésre és méréstechnikára váltunk. A ZHHIMG® számára a precíziós alkatrészek szállítása a félvezető- és lézertechnológia világvezető vállalatainak azt jelenti, hogy felismerik, hogy az optikai mérési platform nem csupán egy alap – hanem az optikai rendszer szerves, nem alku tárgyát képező része.
Az optikai ellenőrzés – amely magában foglalja a nagy nagyítású képalkotást, a lézerszkennelést és az interferometriát – követelményeit a mérési zaj minden forrásának kiküszöbölésére irányuló igény határozza meg. Ez három olyan speciális tulajdonságra összpontosít, amelyek megkülönböztetik a valódi optikai platformot a hagyományos ipari platformtól.
1. Kiváló sűrűség a páratlan rezgéscsillapításért
A szabványos ipari CNC alapokhoz az öntöttvas vagy a tipikus gránit megfelelő merevséget biztosíthat. Az optikai rendszerek azonban rendkívül érzékenyek a gyári berendezések, a légkezelő rendszerek vagy akár a távoli forgalom külső rezgései által okozott apró elmozdulásokra.
Itt válik az anyagtudomány kiemelkedővé. Egy optikai platformhoz kivételes anyagcsillapítással rendelkező gránitra van szükség. A ZHHIMG® a saját fejlesztésű ZHHIMG® fekete gránitot (≈ 3100 kg/m³) használja. Ez az ultranagy sűrűségű anyag, ellentétben az alacsonyabb minőségű gránit- vagy márványpótlókkal, kristályos szerkezettel rendelkezik, amely rendkívül hatékonyan nyeli el a mechanikai energiát. A cél nem csupán a rezgés csökkentése, hanem annak biztosítása is, hogy az alap teljesen csendes mechanikus padló maradjon, minimalizálva az objektívlencse és a vizsgált minta közötti relatív mozgást a mikron alatti szinten.
2. Rendkívüli hőstabilitás a sodródás leküzdésére
A szabványos ipari platformok tolerálják a kisebb méretváltozásokat; a Celsius-fok tizede fokban talán nem számít a fúrásnál. Azonban az optikai rendszerekben, amelyek hosszabb időn keresztül precíz méréseket végeznek, az alap geometriájában bekövetkező bármilyen hőeltolódás szisztematikus hibát okoz.
Optikai ellenőrzéshez egy platformnak hőelnyelőként kell működnie, kivételesen alacsony hőtágulási együtthatóval (CTE). A ZHHIMG® fekete gránit kiemelkedő tömege és sűrűsége biztosítja a szükséges hőtehetetlenséget, hogy ellenálljon a klimatizált helyiségben fellépő apró tágulásoknak és összehúzódásoknak. Ez a stabilitás biztosítja, hogy az optikai komponensek kalibrált fókusztávolsága és síkbeli igazítása rögzített maradjon, garantálva az órákon át tartó mérések integritását – ez nem alku tárgya a nagy felbontású wafer vizsgálat vagy a síkképernyős kijelzők méréstechnikai vizsgálata során.
3. Nanoszintű síkfelület és geometriai pontosság elérése
A legszembetűnőbb különbség a síkfelületre vonatkozó követelmény. Míg egy átlagos ipari alap megfelelhet az 1-es vagy 0-as síkfelületi követelményeknek (néhány mikronban mérve), az optikai rendszerek nanométeres pontosságot igényelnek. Ez a geometriai tökéletesség szükséges ahhoz, hogy megbízható referenciasíkot biztosítson a lineáris tárgyasztalok és a fényinterferencia elvén működő autofókuszrendszerek számára.
A nanométeres szintű síkfelület elérése és tanúsítása teljesen más gyártási megközelítést igényel. Ez magasan specializált technikákat foglal magában, fejlett gépeket, például Taiwan Nanter köszörűket használva, és kifinomult méréstechnikai berendezések, például Renishaw lézerinterferométerek igazolják. Ennek a folyamatnak ultrastabil környezetben kell történnie, például a ZHHIMG® rezgéscsillapított, klímavezérelt műhelyeiben, ahol még a levegő finom mozgását is minimalizálják.
Lényegében egy gránit precíziós platform kiválasztása optikai ellenőrzéshez egy olyan komponensbe való befektetésről szóló döntés, amely aktívan garantálja magának az optikai mérésnek a pontosságát. Ehhez olyan gyártóval kell együttműködni, amely az ISO 9001 tanúsítványt és az átfogó méretkövetést nem opcionális funkciónak, hanem az ultraprecíziós optika világába való belépés alapvető követelményének tekinti.
Közzététel ideje: 2025. október 21.