A precíziós gyártás és a tudományos kutatás határterületén az ultraprecíziós mozgásvezérlés iránti igény napról napra növekszik. A nagy pontosságú lineáris mozgás eléréséhez szükséges kulcsfontosságú berendezésként az ultraprecíziós, egytengelyes légbefúvásos modul teljesítménye közvetlenül befolyásolja a végtermék minőségét és a tudományos kutatási eredmények pontosságát. A számos befolyásoló tényező közül a gránit alap alkalmazása páratlan előnyt biztosít, és a kiváló pontosság biztosításának központi elemévé válik.
A gránit több millió évnyi geológiai változás után a belső szerkezete rendkívül sűrű és egyenletes. Főként kvarcból, földpátból és más ásványokból áll, ez az egyedülálló anyagösszetétel kiváló fizikai tulajdonságokat kölcsönöz a gránitnak. Amikor egytengelyes légbefúvásos ultraprecíziós mozgásmodul alapjaként használják, a gránit először rendkívül nagy stabilitást mutat. A közönséges fém alapanyagokhoz képest a gránit alapok erősebb deformációs ellenállást mutatnak a külső környezeti zavarokkal, például a hőmérséklet-ingadozásokkal és a mechanikai rezgéssel szemben. Az elektronikus chipgyártás folyamatában a chiplitográfia pozicionálási pontosságának el kell érnie a nanométeres szintet. A gyártóműhelyben a nagy berendezések működése által keltett rezgés és a környezeti hőmérséklet enyhe változásai befolyásolhatják a litográfiai berendezés mozgáspontosságát. Az egytengelyes légbefúvásos ultraprecíziós mozgásmodul gránit alappal hatékonyan csillapítja a külső rezgéseket, és több mint 80%-kal csökkenti a mozgásmodulra továbbított rezgési amplitúdót. Ugyanakkor a rendkívül alacsony hőtágulási együtthatója miatt az alap mérete a hőmérséklet változásával nagyon keveset változik, biztosítva, hogy a levegőben lebegő mozgásmodul továbbra is stabil mozgáspontosságot tudjon fenntartani egy összetett környezetben, precíz pozicionálási alapot biztosítva a chip litográfiához, és jelentősen javítva a chipgyártás hozamát.
Ezenkívül a gránit jó kopásállósággal rendelkezik. Az ultraprecíziós egytengelyes légúszó modul gyakori oda-vissza mozgása során, bár a légúszó csúszka és az alap között gázfilm támasztás van, a hosszú távú használat elkerülhetetlenül bizonyos mértékű súrlódást eredményez. A gránitalap nagy keménységi jellemzőivel hatékonyan ellenáll a súrlódás okozta kopásnak, és meghosszabbítja a mozgásmodul élettartamát. Az egyetemek tudományos kutatólaboratóriumaiban a mikrorészecskék detektálására használt kísérleti berendezésekhez az egytengelyes légflotáció ultraprecíziós mozgásmoduljára van szükség ahhoz, hogy hosszú ideig stabilan működjenek, és nagyszámú pontos kísérleti adatot kapjanak. A gránitalap nagy kopásállósága biztosítja, hogy a mozgásmodul pontossága hosszú használat után is megőrizhető legyen a kezdeti nagy pontossági szinten, megbízható garanciát nyújtva a tudományos kutatómunka folytonosságára és pontosságára, és segítve a kutatókat a mikroszkopikus világ rejtélyének mélyreható feltárásában.
Az egytengelyes, gránit talppal ellátott, ultra-precíziós légbefúvásos mozgásmodul olyan, mint egy precíziós "navigátor" a precíziós gyártáshoz és a tudományos kutatáshoz. A gránit alap kiváló stabilitásával és kopásállóságával a légbefúvásos mozgásmodul nagy pontosságú mozgásához szilárd támogatást nyújt a félvezetőgyártásban, az optikai műszergyártásban, a csúcskategóriás tudományos kutatásban és számos más precíziós területen, pótolhatatlanul fontos szerepet játszik, elősegítve az iparág nagyobb pontosságú és jobb minőségi irányába való eljutását.
Közzététel ideje: 2025. április 7.