A precíziós mérés területén a gránit precíziós platform kiváló stabilitásával, nagy keménységével és jó kopásállóságával ideális alapul szolgál számos nagy pontosságú mérési munkához. A környezeti tényezők hőmérséklet-ingadozásai, mint például a sötétben rejtőző "precíziógyilkos", azonban nem elhanyagolható hatással vannak a gránit precíziós platform mérési pontosságára. A mérési munka pontosságának és megbízhatóságának biztosítása érdekében nagy jelentőséggel bír a befolyásolási küszöbérték mélyreható vizsgálata.
Bár a gránit stabilitásáról ismert, nem immunis a hőmérséklet-változásokra. Fő összetevői a kvarc, a földpát és más ásványok, amelyek különböző hőmérsékleteken hőtágulást és -összehúzódást okoznak. Amikor a környezeti hőmérséklet emelkedik, a gránit precíziós platform felmelegszik és kitágul, és a platform mérete kissé megváltozik. Amikor a hőmérséklet csökken, visszazsugorodik eredeti állapotába. A látszólag kis méretváltozások kulcsfontosságú tényezőkké válhatnak, amelyek befolyásolják a mérési eredményeket a precíziós mérési forgatókönyvekben.
Példaként véve a gránit platformhoz illő elterjedt koordináta mérőeszközt, a nagy pontosságú mérési feladatoknál a mérési pontossági követelmények gyakran elérik a mikronos szintet vagy akár magasabbat is. Feltételezzük, hogy 20 ℃-os standard hőmérsékleten a platform különböző méretparaméterei ideális állapotban vannak, és a munkadarab mérésével pontos adatok nyerhetők. Amikor a környezeti hőmérséklet ingadozik, a helyzet egészen más. Nagyszámú kísérleti adatstatisztika és elméleti elemzés után normál körülmények között, 1 ℃-os környezeti hőmérséklet-ingadozás esetén a gránit precíziós platform lineáris tágulása vagy összehúzódása körülbelül 5-7 × 10⁻⁶/℃. Ez azt jelenti, hogy egy 1 méteres oldalhosszúságú gránit platform esetében az oldalhossz 5-7 mikronnal változhat, ha a hőmérséklet 1 °C-kal változik. Precíziós méréseknél az ilyen méretváltozás elegendő ahhoz, hogy az elfogadható tartományon kívüli mérési hibákat okozzon.
A különböző pontossági szintek által megkövetelt mérési munkáknál a hőmérséklet-ingadozás befolyásolási küszöbértéke is eltérő. A szokásos precíziós méréseknél, például a mechanikus alkatrészek méretének mérésekor, ha a megengedett mérési hiba ±20 mikronon belül van, a fenti tágulási együttható számítása szerint a hőmérséklet-ingadozást ± 3-4 ℃ tartományon belül kell szabályozni, hogy a platform méretváltozása okozta mérési hibát elfogadható szinten lehessen szabályozni. A nagy pontossági követelményeket támasztó területeken, például a félvezető chipek gyártásának litográfiai folyamatmérésében, a hiba ±1 mikronon belül megengedett, és a hőmérséklet-ingadozást szigorúan ± 0,1-0,2 °C-on belül kell szabályozni. Ha a hőmérséklet-ingadozás meghaladja ezt a küszöbértéket, a gránit platform hőtágulása és összehúzódása eltéréseket okozhat a mérési eredményekben, ami befolyásolja a chipgyártás hozamát.
A környezeti hőmérséklet-ingadozás gránit precíziós platform mérési pontosságára gyakorolt hatásának kezelése érdekében a gyakorlatban számos intézkedést alkalmaznak. Például nagy pontosságú állandó hőmérsékletű berendezéseket telepítenek a mérési környezetbe, hogy nagyon kis tartományban szabályozzák a hőmérséklet-ingadozást; a mérési adatokon hőmérséklet-kompenzációt végeznek, és a mérési eredményeket szoftveralgoritmus korrigálja a platform hőtágulási együtthatója és a valós idejű hőmérsékletváltozások alapján. Azonban bármilyen intézkedést is tesznek, a környezeti hőmérséklet-ingadozások gránit precíziós platform mérési pontosságára gyakorolt hatásának pontos megértése a pontos és megbízható mérési munka biztosításának előfeltétele.
Közzététel ideje: 2025. április 3.