A félvezetőipar nanoskálájú gyártási folyamatok felé való elmozdulása során a chipgyártás kulcsfontosságú elemeként a szeletvágás rendkívül szigorú követelményeket támaszt a berendezések stabilitásával szemben. A gránit alap, kiemelkedő rezgésállóságával és hőstabilitásával, a szeletvágó berendezések központi elemévé vált, megbízható garanciát nyújtva a nagy pontosságú és nagy hatékonyságú szeletfeldolgozás elérésére.
Kiváló csillapítási és rezgéscsillapító tulajdonságok: Nano szintű vágási pontosságot biztosít
Amikor a lapkavágó berendezés működik, az orsó nagysebességű forgása, a vágószerszám nagyfrekvenciás rezgése és a környező berendezés által keltett környezeti rezgés mind jelentős hatással van a vágási pontosságra. A hagyományos fémalapok csillapítási teljesítménye korlátozott, ami megnehezíti a rezgések gyors csillapítását, ami a vágószerszámok mikronszintű jitteréhez vezet, és közvetlenül olyan hibákat okoz, mint a lepattogzott élek és a lapkák repedései. A gránit alaplap magas csillapítási tulajdonságai alapvetően megoldották ezt a problémát.
A gránit belső ásványi kristályai szorosan összefonódnak, természetes energiaelnyelő szerkezetet alkotva. Amikor a rezgés átjut az alapra, annak belső mikroszerkezete gyorsan képes a rezgési energiát hőenergiává alakítani, hatékony rezgéscsillapítást érve el. Kísérleti adatok azt mutatják, hogy ugyanabban a rezgési környezetben a gránit alap 0,5 másodpercen belül több mint 90%-kal képes csökkenteni a rezgés amplitúdóját, míg a fém alapnak ehhez 3-5 másodpercre van szüksége. Ez a kiemelkedő csillapítási teljesítmény biztosítja, hogy a vágószerszám stabil maradjon a nanoskálájú vágási folyamat során, garantálva a lapkavágás sima élét és hatékonyan csökkentve a forgácsolódási sebességet. Például az 5 nm-es lapkavágási folyamatban a gránit alappal rendelkező berendezések 10 μm-en belül tudják szabályozni a forgácsolási méretet, ami több mint 40%-kal magasabb, mint a fém alappal rendelkező berendezéseké.
Rendkívül alacsony hőtágulási együttható: Ellenáll a hőmérséklet-ingadozások hatásának
A lapkavágási folyamat során a vágószerszámok súrlódása által termelt hő, a berendezés hosszú távú működése során keletkező hőelvezetés és a műhely környezeti hőmérsékletének változásai mind a berendezés alkatrészeinek hődeformációját okozhatják. A fémes anyagok hőtágulási együtthatója viszonylag magas (körülbelül 12×10⁻⁶/℃). Amikor a hőmérséklet 5℃-kal ingadozik, egy 1 méter hosszú fém alap 60 μm-es deformációt szenvedhet, ami a vágási pozíció eltolódását okozhatja, és jelentősen befolyásolhatja a vágási pontosságot.
A gránit alap hőtágulási együtthatója mindössze (4-8) ×10⁻⁶/℃, ami kevesebb, mint egyharmada a fém anyagok hőtágulási együtthatójának. Ugyanezen hőmérsékletváltozás mellett a méretváltozása szinte elhanyagolható. Egy félvezetőgyártó vállalat mérési adatai azt mutatják, hogy egy 8 órás folyamatos, nagy intenzitású szeletvágási művelet során, amikor a környezeti hőmérséklet 10℃-kal ingadozik, a gránit alapú berendezés vágási pozícióeltolása kevesebb, mint 20 μm, míg a fém alapú berendezésé meghaladja a 60 μm-t. Ez a stabil hőteljesítmény biztosítja, hogy a vágószerszám és a szelet közötti relatív helyzet mindig pontos maradjon. Még hosszú távú folyamatos működés vagy a környezeti hőmérséklet drasztikus változása esetén is fenntartható a vágási pontosság állandósága.
Merevség és kopásállóság: Biztosítja a berendezés hosszú távú stabil működését
A rezgésállóság és a hőstabilitás előnyei mellett a gránit alap nagy merevsége és kopásállósága tovább növeli a lapkavágó berendezés megbízhatóságát. A gránit keménysége a Mohs-skálán 6-7, nyomószilárdsága pedig meghaladja a 120 MPa-t. A vágási folyamat során hatalmas nyomást és ütési erőt bír ki, és nem hajlamos a deformációra. Eközben sűrű szerkezete kiváló kopásállósággal ruházza fel. Még gyakori vágási műveletek során sem hajlamos az alap felülete a kopásra, így a berendezés hosszú ideig nagy pontosságú működést biztosít.
A gyakorlati alkalmazásokban számos ostyagyártó vállalat jelentősen javította a termékhozamot és a termelési hatékonyságot a gránitalapú vágóberendezések bevezetésével. Egy világszerte vezető öntöde adatai azt mutatják, hogy a gránitalapú berendezések bevezetése után az ostyavágási hozam 88%-ról több mint 95%-ra nőtt, a berendezés karbantartási ciklusa pedig háromszorosára nőtt, ami hatékonyan csökkentette a termelési költségeket és fokozta a piaci versenyképességet.
Összefoglalva, a gránit alap kiváló rezgésállóságával, hőstabilitásával, nagy merevségével és kopásállóságával átfogó teljesítménygaranciát nyújt a szeletvágó berendezések számára. Ahogy a félvezető technológia a nagyobb pontosság felé halad, a gránit alapok egyre jelentősebb szerepet fognak játszani a szeletgyártás területén, elősegítve a félvezetőipar folyamatos innovatív fejlődését.
Közzététel ideje: 2025. május 20.