A gránit egy kemény kőzetfajta, amely nélkülözhetetlen anyaggá vált a félvezetőgyártó iparban. Tulajdonságai lehetővé teszik, hogy ellenálljon a magas hőmérsékletnek, ami ideálissá teszi a félvezető eszközök gyártási folyamatainak különböző szakaszaiban való felhasználásra. Ennek eredményeként a gránit összeszerelése széles körű alkalmazási területeket talált a félvezetőgyártási folyamat eszköztermékeiben.
A gránit összeszerelésének egyik leggyakrabban használt alkalmazása a nagy pontosságú szerszámgép-szerkezetek építése. A gránit merevsége és stabilitása lehetővé teszi precíz és pontos szerszámok előállítását minimális vagy semmilyen deformációval. Ez a pontossági szint szükséges a félvezetőgyártási folyamatokban, például az ionimplantációban, ahol a nyalábot pontosan a lapkára kell irányítani.
A gránit összeszerelésének egy másik alkalmazása a félvezetőgyártásban a méréstechnikai berendezések építése. A méréstechnikai berendezések létfontosságúak a félvezetőgyártási folyamatokban, mivel mérik és ellenőrzik a gyártott eszközök pontosságát. A gránit méretstabilitása, alacsony hőtágulása és kiváló rezgéscsillapító tulajdonságai teszik a méréstechnikai berendezések gyártásának választott anyagává. Ide tartoznak a waferek előkészítéséhez és ellenőrzéséhez használt nagy gránitfelületek is.
Az optikai asztalok a gránit összeszerelésének egy újabb széles körű alkalmazási területét jelentik a félvezetőiparban. Az optikai asztalokat optikai eszközök, például adatkommunikációs hullámvezetők tesztelésére használják. A gránit síkfelülete, alacsony hőtágulása, nagy merevsége és mechanikai stabilitása lehetővé teszi, hogy rendkívül stabil felületet biztosítson az optika rögzítéséhez és pozicionálásához. A gránit optikai asztalok biztosítják az optikai eszközök pontos és precíz teszteléséhez szükséges stabilitást és merevséget.
A gránitot a félvezető-befogók és -fokozatok gyártásában is alkalmazzák. A félvezető-gyártási folyamat során a precíziós igazítás és a pozíciószabályozás kulcsfontosságú. A befogóknak, amelyek a feldolgozás során a helyükön tartják a wafereket, meg kell őrizniük a pozíciópontosságot, miközben ellenállnak a magas hőmérsékleteknek és a vákuumviszonyoknak. A gránit kiváló méretstabilitással rendelkezik széles hőmérsékleti tartományban, és ellenáll a vákuumkörülményeknek, így ideális a wafer-befogók gyártásához. A waferek egyik pozícióból a másikba mozgatásához használt fokozatok ciklikus mozgássorozaton mennek keresztül a félvezető-gyártási folyamat során. A gránit összeszerelése stabilitást és tartósságot biztosít, amely a folyamatos és ismétlődő mozgásciklusok elviseléséhez szükséges.
Összefoglalva, a gránit szerelvények alkalmazása a félvezetőgyártó iparban széleskörű. Tulajdonságai, mint például a méretstabilitás, az alacsony hőtágulás, a nagy merevség és a rezgéscsillapítás ideális anyaggá teszik a félvezető eszközök gyártási folyamatainak különböző szakaszaiban. A nagy pontosságú szerszámgépek és méréstechnikai berendezések gyártásától kezdve az optikai asztalokon és ostyaállványokon át a tokmányokig a gránit tulajdonságai kulcsszerepet játszanak a stabilitás, a pontosság és az ismételhetőség biztosításában, amelyek a kiváló minőségű félvezető eszközök gyártásához szükségesek.
Közzététel ideje: 2023. dec. 06.