Félvezetőgyártás: A chipgyártási folyamat során a fotolitográfiai eljárásnak pontosan át kell vinnie az áramköri mintát a lapkára. Az egytengelyes, levegővel lebegő, ultraprecíziós mozgásmodul gránitallapja nagy pontosságú pozicionálást és stabil támasztást biztosít a litográfiai berendezés lapkaasztalának. Például az ASML és más nemzetközileg elismert litográfiai gépgyártók gránitallapú, levegővel lebegő mozgásmodulokat használnak csúcskategóriás berendezéseikben, amelyek nanométeres szinten szabályozhatják a lapka pozicionálási pontosságát a litográfiai minta pontosságának biztosítása érdekében, ezáltal javítva a chip integrációját és teljesítményét.
Precíziós mérési terület: A koordináta-mérőgép (CMM) egy precíziós mérőberendezés, amelyet általánosan használnak az ipari termelésben, és amely a munkadarab méretének, alakjának és pozíciópontosságának mérésére szolgál. A gránit alapon elhelyezett egytengelyes légúszó ultraprecíziós mozgásmodulja a CMM mozgásplatformjaként használható, amely nagy pontosságú lineáris mozgást valósít meg, és stabil mozgáspályát biztosít a mérőszonda számára. Például a Hexagon csúcskategóriás CMM-je ezt a kombinációt használja nagy és összetett alkatrészek mérésére akár mikronos mérési pontossággal, ami erős garanciát jelent az alkatrészminőség-ellenőrzésre az autóiparban, a repülőgépiparban és más iparágakban.
Repülőgépipar: A repülőgépipari alkatrészek feldolgozása és tesztelése során nagy pontosságra van szükség. Például a repülőgépmotor-lapátok megmunkálása a szerszám mozgási pályájának pontos vezérlését igényli a lapátprofil pontosságának biztosítása érdekében. Az egytengelyes légbefúvásos ultra-precíziós mozgásmodul gránitallapja öttengelyes megmunkálóközpontokra és más berendezésekre is alkalmazható, hogy nagy pontosságú mozgásvezérlést biztosítson a szerszám számára, és biztosítsa, hogy a lapát megmunkálási pontossága megfeleljen a tervezési követelményeknek. Ugyanakkor a repülőgépmotor összeszerelési folyamata során nagy pontosságú mérőberendezéseket is kell használni az alkatrészek összeszerelési pontosságának érzékelésére. A gránitallap légbefúvásos mozgásmodulja stabil támaszt és pontos mozgást biztosít a mérőberendezés számára az összeszerelés minőségének biztosítása érdekében.
Optikai ellenőrzési terület: Az optikai alkatrészek gyártási és tesztelési folyamata során nagy pontosságú pozicionálást és mérést kell végezni az optikai alkatrészeken. Például nagy pontosságú optikai alkatrészek, például tükrök és lencsék gyártásakor interferométereket és egyéb berendezéseket kell használni a felületi alak pontosságának érzékeléséhez. Az egytengelyes, levegőben lebegő, ultraprecíziós mozgásmodul gránitallapja használható az interferométer mozgásplatformjaként, amely képes megvalósítani a szubmikronos pozicionálási pontosságot, és pontos adattámogatást nyújt az optikai alkatrészek érzékeléséhez. Ezenkívül a lézeres megmunkáló berendezésekben nagy pontosságú mozgásplatformot is kell használni a lézersugár szkennelési pályájának vezérléséhez, a levegőben lebegő mozgásmodul gránitallapja megfelel ennek a követelménynek a nagy pontosságú lézeres megmunkálás elérése érdekében.
Közzététel ideje: 2025. április 7.