A csúcskategóriás gyártás és az élvonalbeli tudományos kutatás területén a precíziós statikus nyomású levegővel úszó mozgásplatform a kulcsfontosságú berendezés az ultraprecíziós működés eléréséhez. A gránit precíziós alap a platform központi tartóeleme, és teljesítménye szorosan összefügg a munkakörnyezettel. Ezen környezeti követelmények megértése és teljesítése nemcsak a platform nagy pontosságú működését biztosíthatja, hanem a vállalkozás fontos részét képezi a kapcsolódó területeken való versenyképességének növeléséhez is, amelyet az alábbiakban részletesen ismertetünk.
1. Hőmérséklet: precíz szabályozás a méretstabilitás biztosítása érdekében
Bár a gránit stabilitásáról ismert, hőtágulási együtthatója nem nulla, és a kis hőmérsékletváltozások is befolyásolhatják a méretpontosságát. Általánosságban elmondható, hogy a gránit hőtágulási együtthatója 5-7 × 10⁻⁶/℃. A precíziós statikus nyomású levegővel lebegő mozgásplatform alkalmazási forgatókönyvében ezt a kismértékű változást a platform felerősíti, ami a mozgáspontosság eltéréséhez vezethet. Például a félvezető chip gyártási folyamatában a litográfiai eljárás danami szintű pozicionálási pontossági követelményeihez 1 °C környezeti hőmérséklet-ingadozás esetén az 1 méteres gránit alap oldalhossza 5-7 mikron lineáris tágulást vagy összehúzódást eredményezhet, ami elegendő ahhoz, hogy a chip litográfiai mintázatának eltérése csökkentse a hozamot. Ezért a gránit precíziós alappal felszerelt precíziós statikus nyomású levegővel lebegő platform ideális munkakörnyezeti hőmérsékletét szigorúan 20 °C ±1 °C-on kell szabályozni. A vállalatok nagy pontosságú állandó hőmérsékletű légkondicionáló rendszert telepíthetnek, folyamatosan figyelhetik és pontosan beállíthatják a környezeti hőmérsékletet, fenntarthatják a gránit alap méretének stabilitását, hogy biztosítsák a platform nagy pontosságú működését.
2. páratartalom: ésszerű szabályozás, az alap teljesítményének védelme
A páratartalom jelentős hatással van a precíziós gránit alapokra is. Magas páratartalmú környezetben a gránit könnyen felszívja a vízgőzt, és a felületén páralecsapódás alakulhat ki, ami nemcsak a levegőflotációs rendszer normál működését zavarja, hanem a gránit felületének hosszú távú eróziójához is vezethet, csökkentve annak pontosságát és élettartamát. Példaként vegyük az optikai lencsecsiszoló műhelyt, ha a páratartalom hosszú ideig meghaladja a 60% relatív páratartalmat, a gránit alap felületén adszorbeált vízgőz tönkreteszi a levegőflotációs film egyenletességét, ami a lencsecsiszolási pontosság csökkenéséhez és felületi hibákhoz vezet. Ezért a munkakörnyezet relatív páratartalmát 40% és 60% relatív páratartalom között kell szabályozni. A vállalkozások páramentesítőket, páratartalom-érzékelőket és egyéb berendezéseket használhatnak a páratartalom valós idejű monitorozására és szabályozására, megfelelő páratartalom-környezet megteremtésére a precíziós gránit alap számára, és biztosíthatják a precíziós statikus nyomású levegőlebegő mozgásplatform stabil működését.
3. tisztaság: szigorúan ellenőrizni, kiküszöbölni a részecskék interferenciáját
A porrészecskék a precíziós statikus nyomású levegővel úszó mozgásplatform "ellenségei", és nagy kárt okoznak a gránit precíziós alapnak. Amint az apró részecskék bejutnak a gázfilm résbe a gázúszó csúszka és a gránit alap között, tönkretehetik a gázfilm egyenletességét, növelhetik a súrlódást, sőt megkarcolhatják az alap felületét, komolyan befolyásolva a platform mozgásának pontosságát. A repülőgépipari alkatrészek ultra-precíziós megmunkáló műhelyében, ha a levegőben lévő porrészecskék a gránit alapra esnek, a megmunkáló szerszám mozgási pályája eltérhet, ami befolyásolja az alkatrészek megmunkálási pontosságát. Ezért a munkaterületet nagyon tisztán kell tartani, és 10 000-es vagy akár magasabb tisztasági szintet kell elérni. A vállalatok nagy hatékonyságú légszűrők (HEPA) telepítésével kiszűrhetik a levegőben lévő porrészecskéket, és megkövetelhetik a személyzettől, hogy pormentes ruházatot, cipővédőt stb. viseljenek, hogy csökkentsék az emberek által behozott port, és fenntartsák a gránit alap és a precíziós statikus nyomású levegővel úszó mozgásplatform nagy pontosságú működési környezetét.
4. Rezgés: Hatékony szigetelés a sima tér érdekében
A külső rezgés komolyan befolyásolja a precíziós statikus nyomású levegővel úszó platform pontosságát, bár a precíziós gránit alap rendelkezik bizonyos rezgéscsillapítási képességgel, a nagy erősségű rezgés mégis átlépheti a pufferhatárát. A gyár körüli forgalom és a nagy mechanikus berendezések működése által keltett rezgés a talajon keresztül továbbítódik a gránit alapra, ami zavarja a platform mozgásának pontosságát. A csúcskategóriás koordináta-mérőgépekben a rezgés a mérőszonda és a mérendő munkadarab közötti érintkezés instabillá válását okozhatja, ami a mérési adatok eltérését eredményezi. A probléma megoldása érdekében hatékony rezgésszigetelési intézkedéseket kell hozni, például rezgésszigetelő betéteket kell elhelyezni a berendezés telepítési területén, rezgésszigetelő alapot kell építeni, vagy aktív rezgésszigetelő rendszert kell használni a külső rezgések aktív ellensúlyozására, valamint csendes és stabil munkakörnyezetet kell teremteni a gránit precíziós alap és a precíziós statikus nyomású levegővel úszó mozgásplatform számára.
A fenti környezetvédelmi követelményeknek való megfelelés érdekében a precíziós statikus nyomású levegővel úszó mozgásplatform gránit precíziós alapjainak előnyeit teljes mértékben ki lehet használni, és biztosítani kell, hogy a platform nagy pontosságú és nagy stabilitású mozgásvezérlési szolgáltatásokat nyújtson különböző iparágak számára. Ha a vállalatok a termelési környezetben figyelmet fordítanak ezekre a részletekre, akkor megragadják a precíziós gyártás, a tudományos kutatás és más területek lehetőségeit, növelhetik versenyképességüket és fenntartható fejlődést érhetnek el.
Közzététel ideje: 2025. április 10.