A gránitot évek óta széles körben használják félvezető berendezések gyártásában és tervezésében.Ez kiváló tulajdonságainak köszönhető, amelyek ideális anyaggá teszik számos alkalmazáshoz.A gránit nagymértékben ellenáll a kopásnak, a korróziónak és a hősokkoknak, ezért alkalmas zord környezetben való használatra.Ebben a cikkben megvitatjuk a gránit néhány általános alkalmazását a félvezető berendezésekben.
1. Metrológiai berendezések
A metrológiai berendezéseket a félvezető eszközök méreteinek és tulajdonságainak mérésére használják.A gránitot gyakran használják ilyen berendezések alapjaként, nagy méretstabilitása miatt.A gránit felület síksága és pontossága ideális referencia a pontos mérésekhez.Ezenkívül a gránit hőstabilitása csökkenti a hőmérséklet-ingadozások miatti méretváltozások kockázatát.
2. Optikai berendezések
A gránitot optikai berendezésekben is használják, például litográfiai gépekben, amelyeket félvezető eszközök gyártásához használnak.A gránittalp stabil alapot biztosít az ezekben a gépekben használt nagy pontosságú optikák számára.A gránit kiváló rezgéscsillapító tulajdonságai hozzájárulnak a rezgések csökkentéséhez is, amelyek befolyásolhatják az optika teljesítményét és pontosságát.
3. Ostyafeldolgozó berendezés
A félvezető lapkák feldolgozása több lépésből áll, beleértve a tisztítást, maratást és leválasztást.A gránitot az ostyafeldolgozó berendezés számos alkatrészében használják.Például a gránitot kémiai gőzleválasztási (CVD) berendezések szubsztrátumaként használják, amelyeket vékony filmek szilíciumlapkákra történő felhordására használnak.A gránitot maratókamrák és egyéb technológiai edények építésére is használják, ahol elengedhetetlen a kiváló vegyszerállósága és méretstabilitása.
4. Tesztfelszerelés
Tesztberendezést használnak a félvezető eszközök teljesítményének és minőségének ellenőrzésére.A gránitot nagy merevsége és stabilitása miatt gyakran használják tesztberendezések alapjaként.A gránit nem mágneses és nem vezető platformot biztosít, amely kiküszöböli az érzékeny vizsgálóberendezésekkel való interferenciát.A gránit felület síksága és pontossága rendkívül pontos vizsgálati eredményeket tesz lehetővé.
Következtetés
Összefoglalva, a gránit fontos anyag a félvezető berendezések tervezésében és gyártásában.Kiváló tulajdonságai, beleértve a méretstabilitást, hőstabilitást, vegyszerállóságot és rezgéscsillapítást, ideális anyaggá teszik számos alkalmazáshoz.A gránitot a félvezető berendezések számos kritikus alkatrészében használják, beleértve a metrológiai berendezéseket, az optikai berendezéseket, az ostyafeldolgozó berendezéseket és a vizsgálóberendezéseket.Mivel a gyorsabb, kisebb és erősebb félvezető eszközök iránti kereslet folyamatosan növekszik, a gránit félvezető berendezésekben való felhasználása valószínűleg továbbra is elengedhetetlen marad.
Feladás időpontja: 2024.08.08