A gránitot évek óta széles körben használják félvezető berendezések gyártásában és tervezésében. Ez kiváló tulajdonságainak köszönhető, amelyek ideális anyaggá teszik számos alkalmazáshoz. A gránit rendkívül ellenálló a kopással, a korrózióval és a hősokkokkal szemben, így alkalmassá teszi a zord környezetben való használatra. Ebben a cikkben a gránit néhány gyakori alkalmazását tárgyaljuk a félvezető berendezésekben.
1. Metrológiai berendezések
A méréstechnikai berendezéseket félvezető eszközök méreteinek és tulajdonságainak mérésére használják. A gránitot gyakran használják az ilyen berendezések alapjául a nagy méretstabilitása miatt. A gránit felületének síksága és pontossága ideális referenciát biztosít a pontos mérésekhez. Ezenkívül a gránit hőstabilitása csökkenti a hőmérséklet-ingadozások miatti méretváltozások kockázatát.
2. Optikai berendezések
A gránitot optikai berendezésekben, például litográfiai gépekben is használják, amelyeket félvezető eszközök gyártásához használnak. A gránit alap stabil alapot biztosít az ezekben a gépekben használt nagy pontosságú optikáknak. A gránit kiváló rezgéscsillapító tulajdonságai szintén segítenek csökkenteni a rezgéseket, amelyek befolyásolhatják az optika teljesítményét és pontosságát.
3. Ostyafeldolgozó berendezések
A félvezető ostyák feldolgozása több lépésből áll, beleértve a tisztítást, a maratást és a leválasztást. A gránitot a ostyafeldolgozó berendezések számos alkatrészében használják. Például a gránitot hordozóként használják a kémiai gőzfázisú leválasztással (CVD) működő berendezésekben, amelyeket vékony filmek szilícium ostyákra történő leválasztására használnak. A gránitot maratókamrák és más feldolgozóedények gyártásához is használják, ahol kiváló kémiai ellenállása és méretstabilitása elengedhetetlen.
4. Tesztberendezések
A tesztberendezéseket a félvezető eszközök teljesítményének és minőségének ellenőrzésére használják. A gránitot gyakran használják tesztberendezések alapjaként nagy merevsége és stabilitása miatt. A gránit nem mágneses és nem vezetőképes platformot biztosít, amely kiküszöböli az érzékeny tesztberendezésekkel való interferenciát. A gránitfelület síksága és pontossága rendkívül pontos teszteredményeket tesz lehetővé.
Következtetés
Összefoglalva, a gránit fontos anyag a félvezető berendezések tervezésében és gyártásában. Kiváló tulajdonságai, beleértve a méretstabilitást, a hőstabilitást, a kémiai ellenállást és a rezgéscsillapítást, ideális anyaggá teszik számos alkalmazáshoz. A gránitot számos kritikus alkatrészben használják a félvezető berendezésekben, beleértve a méréstechnikai berendezéseket, az optikai berendezéseket, a waferfeldolgozó berendezéseket és a tesztberendezéseket. Mivel a gyorsabb, kisebb és erősebb félvezető eszközök iránti kereslet folyamatosan növekszik, a gránit használata a félvezető berendezésekben valószínűleg továbbra is elengedhetetlen marad.
Közzététel ideje: 2024. április 8.