A gránit évek óta széles körben használják a félvezető berendezések gyártásában és tervezésében. Ennek oka a kiváló tulajdonságai, amelyek sok alkalmazás számára ideális anyaggá teszik. A gránit nagyon ellenálló a kopással, a korrózióval és a termikus sokkokkal szemben, ami alkalmassá teszi a durva környezetben való felhasználást. Ebben a cikkben megvitatjuk a gránit általános alkalmazásait a félvezető berendezésekben.
1. Metrológiai berendezés
A metrológiai berendezéseket a félvezető eszközök méretének és tulajdonságainak mérésére használják. A gránitot gyakran használják az ilyen berendezések alapjaként, annak nagy dimenziós stabilitása miatt. A gránit felületének lapossága és pontossága ideális referenciát biztosít a pontos mérésekhez. Ezenkívül a gránit termikus stabilitása csökkenti a hőmérsékleti változások miatti méretváltozások kockázatát.
2. Optikai berendezés
A gránit optikai berendezésekben, például litográfiai gépekben is használják, amelyeket félvezető eszközök gyártására használnak. A gránit alap stabil platformot biztosít az ezekben a gépekben használt nagy pontosságú optikához. A gránit kiváló rezgési tompítási tulajdonságai szintén segítenek csökkenteni a rezgéseket, amelyek befolyásolhatják az optika teljesítményét és pontosságát.
3. ostyafeldolgozó berendezés
A félvezető ostya feldolgozása több lépést foglal magában, beleértve a tisztítást, a maratást és a lerakódást. A gránitot az ostya -feldolgozó berendezés több alkatrészében használják. Például a gránit szubsztrátként használják a kémiai gőzlerakódási (CVD) berendezésekhez, amelyet vékony fóliákat használnak a szilícium ostyákra. A gránitot a marató kamrák és más folyamat edények felépítéséhez is használják, ahol kiváló kémiai ellenállása és dimenziós stabilitása nélkülözhetetlen.
4.
A tesztberendezéseket a félvezető eszközök teljesítményének és minőségének ellenőrzésére használják. A gránitot gyakran használják a vizsgálati berendezések alapjaként, annak nagy merevsége és stabilitása miatt. A gránit nem mágneses és nem vezetőképes platformot biztosít, amely kiküszöböli az érzékeny tesztelő berendezések beavatkozását. A gránit felületének síksága és pontossága lehetővé teszi a rendkívül pontos teszt eredményeket.
Következtetés
Összegezve: a gránit fontos anyag a félvezető berendezések tervezésében és gyártásában. Kiváló tulajdonságai, beleértve a dimenziós stabilitást, a hőstabilitást, a kémiai ellenállást és a rezgéscsillapítást, sok alkalmazáshoz ideális anyaggá teszik. A gránit a félvezető berendezések számos kritikus alkatrészében használják, ideértve a metrológiai berendezéseket, az optikai berendezéseket, az ostyafeldolgozó berendezéseket és a tesztberendezéseket. Mivel a gyorsabb, kisebb és erősebb félvezető eszközök iránti kereslet továbbra is növekszik, a gránit félvezető berendezésekben való felhasználása valószínűleg alapvető fontosságú.
A postai idő: április-08-2024