A gránit alkatrészeket széles körben használják félvezető berendezésekben nagy stabilitásuk és tartósságuk miatt. Felelősek a félvezető gyártási folyamatok pontosságának és pontosságának fenntartásáért. A gránit alkatrészek hatékonysága és megbízhatósága azonban a tervezésük, gyártásuk és telepítésük során betartott szabványoktól és specifikációktól függ.
Az alábbiakban néhány szabványt és előírást ismertetünk, amelyeket be kell tartani a gránit alkatrészek félvezető berendezésekben történő használatakor:
1. Anyagsűrűség: A gránit alkatrészek gyártásához használt gránitanyag sűrűségének körülbelül 2,65 g/cm3-nek kell lennie. Ez a természetes gránitanyag sűrűsége, és biztosítja a gránit alkatrészek tulajdonságainak állandóságát és megbízhatóságát.
2. Síkfelület: A síkfelület az egyik legfontosabb specifikáció a félvezető berendezésekben használt gránit alkatrészek esetében. A gránit felületének síkfelületének 0,001 mm/m2 alatt kell lennie. Ez biztosítja, hogy az alkatrész felülete sík és vízszintes legyen, ami elengedhetetlen a félvezető gyártási folyamatokhoz.
3. Felületkezelés: A gránit alkatrészek felületkezelésének kiváló minőségűnek kell lennie, 0,4 µm alatti felületi érdességgel. Ez biztosítja, hogy a gránit alkatrész felületének alacsony súrlódási együtthatója legyen, ami kritikus fontosságú a félvezető berendezések zökkenőmentes működéséhez.
4. Hőtágulási együttható: A félvezető berendezések különböző hőmérsékleteken működnek, és a gránit alkatrészeknek deformáció nélkül kell ellenállniuk a hőingadozásoknak. A félvezető berendezésekben használt gránit hőtágulási együtthatójának 2 x 10^-6 /°C alatt kell lennie.
5. Mérettűrés: A mérettűrés kulcsfontosságú a gránit alkatrészek teljesítménye szempontjából. A gránit alkatrészek mérettűrésének minden kritikus méret esetében ±0,1 mm-en belül kell lennie.
6. Keménység és kopásállóság: A keménység és a kopásállóság alapvető jellemzők a félvezető berendezésekben használt gránit alkatrészek esetében. A gránit Mohs-skálán 6-7-es keménységgel rendelkezik, így alkalmas anyag félvezető berendezésekben való felhasználásra.
7. Szigetelési teljesítmény: A félvezető berendezésekben használt gránit alkatrészeknek kiváló szigetelési teljesítménnyel kell rendelkezniük, hogy megakadályozzák az érzékeny elektronikus alkatrészek károsodását. Az elektromos ellenállásnak 10^9 Ω/cm felett kell lennie.
8. Vegyi ellenállás: A gránit alkatrészeknek ellenállniuk kell a félvezetőgyártási folyamatokban használt általános vegyszereknek, például savaknak és lúgoknak.
Összefoglalva, a félvezető berendezésekben használt gránit alkatrészekre vonatkozó szabványok és előírások kulcsfontosságúak mind az alkatrészek, mind az azokat tartalmazó berendezések hosszú élettartamának és megbízhatóságának biztosítása érdekében. A fenti irányelveket szigorúan be kell tartani a tervezési, gyártási és telepítési folyamatok során, hogy az alkatrészek a lehető legjobb minőségűek legyenek. Ezen szabványok és előírások betartásával a félvezetőgyártók biztosíthatják, hogy berendezéseik teljesítménye optimális maradjon, ami a termelékenység és a jövedelmezőség növekedéséhez vezet.
Közzététel ideje: 2024. márc. 20.