A gránit alkatrészeket széles körben használják félvezető berendezésekben nagy stabilitásuk és tartósságuk miatt.Ők felelősek a félvezetőgyártási folyamatok precizitásáért és pontosságáért.A gránit alkatrészek hatékonysága és megbízhatósága azonban a tervezés, a gyártás és a telepítés során betartott szabványoktól és előírásoktól függ.
Az alábbiakban felsorolunk néhány szabványt és specifikációt, amelyeket be kell tartani, ha gránit alkatrészeket használnak félvezető berendezésekben:
1. Anyagsűrűség: A gránit alkatrészek gyártásához használt gránit anyag sűrűsége körülbelül 2,65 g/cm3 legyen.Ez a természetes gránit anyag sűrűsége, és ez biztosítja a gránit komponensek tulajdonságainak állandóságát és megbízhatóságát.
2. Simaság: A félvezető berendezésekben használt gránit alkatrészek egyik legfontosabb jellemzője a laposság.A gránit felület síksága 0,001 mm/m2 alatt legyen.Ez biztosítja, hogy az alkatrész felülete sík és vízszintes legyen, ami elengedhetetlen a félvezető gyártási folyamatokhoz.
3. Felületkezelés: A gránit alkatrészek felületkezelése jó minőségű legyen, 0,4 µm alatti felületi érdességgel.Ez biztosítja, hogy a gránit alkatrész felületének alacsony súrlódási együtthatója legyen, ami kritikus a félvezető berendezések zavartalan működéséhez.
4. Hőtágulási együttható: A félvezető berendezések különböző hőmérsékleteken működnek, és a gránit alkatrészeknek deformáció nélkül kell ellenállniuk a hőingadozásoknak.A félvezető berendezésekben használt gránit hőtágulási együtthatójának 2 x 10^-6 /°C alatt kell lennie.
5. Mérettűrés: A mérettűrés kulcsfontosságú a gránit alkatrészek teljesítménye szempontjából.A gránit alkatrészek mérettűrésének ±0,1 mm-en belül kell lennie minden kritikus méretnél.
6. Keménység és kopásállóság: A keménység és a kopásállóság a félvezető berendezésekben használt gránit alkatrészek alapvető előírásai.A gránit keménysége Mohs-skála 6-7, így alkalmas anyag félvezető berendezésekben való használatra.
7. Szigetelési teljesítmény: A félvezető berendezésekben használt gránit alkatrészeknek kiváló szigetelési teljesítménnyel kell rendelkezniük az érzékeny elektronikus alkatrészek károsodásának megelőzése érdekében.Az elektromos ellenállásnak 10^9 Ω/cm felett kell lennie.
8. Vegyi ellenállás: A gránit alkatrészeknek ellenállónak kell lenniük a félvezetőgyártási folyamatokban használt általános vegyi anyagokkal, például savakkal és lúgokkal szemben.
Összefoglalva, a félvezető berendezésekben használt gránit alkatrészekre vonatkozó szabványok és előírások kulcsfontosságúak mind az alkatrészek, mind a felhasznált berendezések hosszú élettartamának és megbízhatóságának biztosítása érdekében. A fenti irányelveket szigorúan be kell tartani a tervezés, gyártás és telepítés során. folyamatokat, amelyek biztosítják, hogy az alkatrészek a legjobb minőségűek legyenek.E szabványok és előírások betartásával a félvezetőgyártók biztosíthatják, hogy berendezéseik teljesítménye optimális maradjon, ami növeli a termelékenységet és a jövedelmezőséget.
Feladás időpontja: 2024. március 20