A gránit népszerű anyag a waferfeldolgozó iparban kivételes mechanikai tulajdonságai és tartóssága miatt. Természetes kő, amelyet a világ minden tájáról bányásznak, és évszázadok óta használják különféle építési célokra, beleértve a félvezető berendezések gyártását is. Ebben a cikkben a gránit tulajdonságait és a waferfeldolgozó berendezésekben való különféle alkalmazásait tárgyaljuk.
A gránit tulajdonságai
A gránit egy magmás kőzet, amely csillámból, földpátból és kvarcból áll. Kivételes szilárdságáról, keménységéről és tartósságáról ismert, így ideális anyag a nagy pontosságot és precizitást igénylő alkalmazásokhoz. A gránit alacsony hőtágulási együtthatóval rendelkezik, ami azt jelenti, hogy nem tágul és nem húzódik össze a hőmérsékletváltozások miatt, így rendkívül stabil. Ezenkívül a gránit ellenáll a korróziónak és a vegyszereknek, így ideális anyag a zord környezetben való használatra.
Gránit alkalmazásai ostyafeldolgozó berendezésekben
A gránit széles körben használt anyag a ostyafeldolgozó iparban, egyedi tulajdonságainak köszönhetően. Az alábbiakban a gránit ostyafeldolgozó berendezésekben való alkalmazásának néhány példája látható:
1. Metrológiai eszközök
A gránitot gyakran használják méréstechnikai eszközök, például koordináta-mérőgépek (CMM-ek) és optikai mérőrendszerek gyártásához. Ezekhez az eszközökhöz stabil felületekre van szükség, amelyek ellenállnak a rezgéseknek és a hőnek. A gránit nagy merevsége és alacsony hőtágulása ideális anyaggá teszi az ilyen alkalmazásokhoz.
2. Ostyatartók
A wafer tokmányokat a waferek gyártási folyamat közbeni rögzítésére használják. Ezeknek a tokmányoknak sík és stabil felületre van szükségük ahhoz, hogy megakadályozzák a wafer vetemedését vagy görbülését. A gránit sík felületet biztosít, amely rendkívül stabil és ellenáll a vetemedésnek, így kiváló anyag wafer tokmányokhoz.
3. Kémiai mechanikai polírozó (CMP) eszközök
A CMP szerszámokat a gyártási folyamat során a lapkák polírozására használják. Ezekhez a szerszámokhoz stabil platformra van szükség, amely ellenáll a rezgéseknek és a hőnek. A gránit kiváló merevsége és alacsony hőtágulása ideális anyaggá teszi a CMP szerszámokhoz.
4. Ostyavizsgáló berendezések
A lapkavizsgáló berendezéseket a lapkák hibáinak és hiányosságainak vizsgálatára használják. Ezeknek az eszközöknek stabil és sík felületre van szükségük a pontos mérések biztosításához. A gránit stabil és sík felületet biztosít, amely ellenáll a vetemedésnek, így ideális anyag a lapkavizsgáló berendezésekhez.
Következtetés
Összefoglalva, a gránit széles körben használt anyag a waferfeldolgozó iparban kivételes mechanikai tulajdonságai és tartóssága miatt. Általában méréstechnikai eszközök, wafertokmányok, CMP szerszámok és wafervizsgáló berendezések gyártásában használják. A tulajdonságok egyedülálló kombinációja ideális anyaggá teszi a nagy pontosságot és precizitást igénylő alkalmazásokhoz. Számos előnyével a gránit továbbra is népszerű választás a waferfeldolgozó berendezésekhez, és felhasználása valószínűleg a jövőben is tovább fog növekedni.
Közzététel ideje: 2023. dec. 27.