A félvezetőipar olyan precíziós skálán működik, amely feszegeti az emberi találékonyság határait. Az iparág minőségellenőrzésének középpontjában – az utolsó, kritikus lépésben, mielőtt egy chipet piacra késznek nyilvánítanak – egy látszólag egyszerű anyag áll: a gránit. Pontosabban, a precíziós gránitplatformok jelentik a félvezető chipek ellenőrzésének elsődleges megoldását, ami meglepheti a területen kívülállókat. A ZHONGHUI Groupnál (ZHHIMG®) bensőségesen megértjük ezt a kapcsolatot. Az ultra-nagy pontosságú gránit alkatrészek és mérőeszközök gyártásában szerzett szakértelmünk kulcsfontosságú partnerré tett minket a világ néhány vezető félvezető és méréstechnikai vállalatának. A gránitra való támaszkodás ebben a kritikus alkalmazásban nem a hagyomány, hanem a tiszta fizika és a mérnöki tudomány kérdése. Arról szól, hogy egyedi és igényes követelményeknek feleljünk meg, amelyeket egyetlen más anyag sem tud ilyen hatékonyan kielégíteni.
A stabilitás iránti rendíthetetlen igény
A félvezető chipek vizsgálata nem csak a hibák kereséséről szól; annak ellenőrzéséről is, hogy a mikroszkopikus jellemzők, amelyeket gyakran nanométerben mérnek, tökéletesen kialakultak-e. Ez a folyamat kifinomult berendezéseket igényel, például optikai ellenőrző rendszereket (AOI) és ipari CT-szkennereket, amelyeknek tökéletesen stabilnak kell maradniuk a vizsgálat során. Bármilyen rezgés, hőtágulás vagy szerkezeti eltolódás hibákat okozhat, ami téves pozitív eredményekhez vagy, ami még rosszabb, észrevétlen hibákhoz vezethet.
Itt ragyog a gránit. A fémmel ellentétben, amely a hőmérsékletváltozás hatására jelentősen tágul és összehúzódik, a gránit hihetetlenül alacsony hőtágulási együtthatóval rendelkezik. ZHHIMG® fekete gránitunk sűrűsége körülbelül 3100 kg/m3, ami kivételes hőstabilitást biztosít. Ez azt jelenti, hogy a gránit platform még olyan környezetben is megőrzi alakját és sík felületét, ahol a környezeti hőmérséklet kissé ingadozik. Egy olyan klímavezérelt műhelyben, mint a mi 10 000 m2-es létesítményünk, ahol a hőmérsékletet katonai pontossággal tartják fenn, a gránit stabilitása páratlan.
Továbbá a gránit kiváló csillapító tulajdonságai elengedhetetlenek. Természetes módon elnyeli és eloszlatja a mechanikai rezgéseket, megakadályozva, hogy azok átkerüljenek a kényes vizsgálóberendezésekre. Egy forgalmas, gépekkel teli gyártóüzemben ez a rezgéscsillapítás kritikus fontosságú a mérés integritásának megőrzése érdekében. Műhelyeinket ezt szem előtt tartva terveztük, ultra vastag betonpadlóval és rezgéscsillapító árkokkal, hogy olyan környezetet teremtsünk, ahol kézműveseink nanométeres szintű pontosságot érhetnek el munkájuk során.
Az abszolút síkság keresése
Ahhoz, hogy egy forgácsvizsgáló rendszer működjön, az alapjának a lehető legközelebb kell lennie a tökéletesen síkhoz. A „sík felület” fogalma ebben az összefüggésben nem vizuális, hanem matematikai, amelyet olyan eszközökkel mérnek, mint a Renishaw lézerinterferométerek és a Swiss Wyler elektronikus szintezők. A forgácsvizsgáló célja, hogy egy chip síklapúságát néhány mikron, vagy akár nanométer pontossággal mérje. Ehhez magának a platformnak nagyságrendekkel laposabbnak kell lennie.
A gránit egy olyan anyag, amely speciális kézi leppelési technikáinkkal gyakorlatilag páratlan síkfelületre csiszolható. Mestereink, akik közül sokan több mint 30 éves tapasztalattal rendelkeznek, olyan tapintási érzékkel rendelkeznek, amely lehetővé teszi számukra, hogy akár néhány mikronos síkbeli eltérést is „megérezzenek”. Ez az emberi érintés, világszínvonalú berendezéseinkkel kombinálva, lehetővé teszi számunkra, hogy nanométeres síkfelületű gránit felületi lemezeket állítsunk elő, így ideális referenciasíkot biztosítva a kalibráláshoz és az ellenőrzéshez. Ez az alapja a pontos félvezető-ellenőrzésnek.
Egyedi félvezetőipari igények kielégítése
A félvezetőiparnak a stabilitáson és a síkfelületen túl más speciális igényei is vannak. Például számos ellenőrző rendszer légcsapágyakat használ a súrlódásmentes mozgáshoz. A gránit kiváló közeg a légcsapágy-vezetékekhez, mivel benne rejlik a merevsége és a porozitása, amely lehetővé teszi a finom, egyenletes légáramlást. Gránit légcsapágyainkat egyedi megmunkálással készítjük, hogy biztosítsuk a sima, precíz mozgást, ami elengedhetetlen a nagy sebességű, nagy pontosságú ellenőrzéshez.
Ezenkívül a ZHHIMG® fekete gránit nem mágneses és nem vezetőképes, ami kulcsfontosságú az érzékeny elektronikus alkatrészek esetében. Nem zavarja a vizsgálóberendezés vagy maga a chip elektromágneses mezőit. Ez a semlegesség egy olyan tulajdonság, amelyet sok fémplatform egyszerűen nem tud biztosítani.
A ZHHIMG®-nél nem csupán gránitot árulunk. Kritikus alapot biztosítunk a világ legfejlettebb technológiájához. Elkötelezettek vagyunk az ügyfelek iránt, hogy olyan megoldásokat kínáljunk, amelyek nem csalnak, nem titkolnak el semmit, és nem félrevezetnek. Szorosan együttműködünk partnereinkkel, beleértve az olyan óriásokat, mint a Samsung, és mérésügyi intézményekkel, hogy termékeink ne csak megfeleljenek a specifikációiknak, hanem hozzájáruljanak technológiájuk fejlődéséhez is. A félvezetőgyártás magas téttel bíró játékában a ZHHIMG® precíziós gránitplatformjai csendes, mozdulatlan erőt képviselnek, biztosítva azt a stabilitást és pontosságot, amely életre kelti a holnap innovációit.
Közzététel ideje: 2025. szeptember 28.