♦ alumínium -oxid (AL2O3)
A Zhonghui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) által előállított precíziós kerámia alkatrészek nagy tisztaságú kerámia nyersanyagokból, 92 ~ 97% alumínium-oxidból, 99,5% alumínium-oxidból,> 99,9% alumínium-oxidból és CIP hideg izosztatikus préselésből készülhetnek. Magas hőmérsékletű szinterelés és precíziós megmunkálás, ± 0,001 mm méretű méret pontossága, Smoothness Ra0.1 -ig, hőmérsékletet 1600 fokig. Különböző színű kerámia színűek lehetnek az ügyfelek igényeinek megfelelően, például: fekete, fehér, bézs, sötétvörös stb. A társaságunk által termelt precíziós kerámia alkatrészek ellenállnak a magas hőmérsékleten, a korróziónak, a kopásnak és a szigetelésnek, és hosszú ideig használhatók magas hőmérsékleten, vákuumban és maró gázkörnyezetben.
Különböző félvezető gyártóberendezésekben széles körben használják: keretek (kerámia konzol), szubsztrát (alap), kar/ híd (manipulátor), mechanikai alkatrészek és kerámia levegőcsapágy.
| Terméknév | Magas tisztaság 99 alumínium -oxid kerámia négyzetcső / cső / rúd | |||||
| Index | Egység | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
| Sűrűség | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Vízelnyelés | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
| Szinterelt hőmérséklet | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Keménység | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Hajlító szilárdság (20 ℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Nyomószilárdság | KGF/CM2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Hosszú időtartamú munkahőmérséklet | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Max. Üzemi hőmérséklet | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Térfogat ellenállás | 20 ℃ | Ω. cm3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
| 100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 | ||
A magas tisztaságú alumínium -oxid kerámia alkalmazása:
1. Félvezető berendezésekre alkalmazva: Kerámia vákuumcsomó, vágócsatorna, tisztító tárcsa, kerámia chuck.
2. ostyaátviteli alkatrészek: ostyakezelő chucks, ostyavágó tárcsák, ostya tisztító tárcsák, ostya optikai ellenőrző szívócsészék.
3. LED / LCD síkképület kijelző ipar: Kerámia fúvóka, kerámia őrlő tárcsa, emelőkcsap, csap sín.
4. Optikai kommunikáció, napenergia -ipar: kerámiacsövek, kerámia rudak, áramköri szitanyomókerámia kerámia kaparók.
5. Hőálló és elektromosan szigetelő alkatrészek: Kerámiacsapágyak.
Jelenleg az alumínium -oxid kerámia nagy tisztaságra és általános kerámiára osztható. A nagy tisztaságú alumínium -oxid kerámia sorozat a 99,9% -ot tartalmazó kerámia anyagra utal. Mivel a szinterezési hőmérséklete 1650 - 1990 ° C -ig és 1 ~ 6 μm -ig terjedő hullámhossza, általában olvasztott üvegbe kerül, a platina -tégely helyett: melyet nátriumcsövekként lehet felhasználni, mivel fényáteresztőképessége és korrózió -ellenállása az alkáli fémnek. Az elektronikai iparban felhasználható az IC szubsztrátok magas frekvenciájú szigetelő anyagként. Az alumínium -oxid különböző tartalma szerint a közös alumínium -oxid kerámia sorozat 99 kerámiára, 95 kerámiára, 90 kerámiára és 85 kerámiára osztható. Időnként az alumínium -oxid 80% -ával vagy 75% -ával rendelkező kerámiát szintén közös alumínium -oxid kerámia sorozatba sorolják. Közülük 99 alumínium-oxid kerámia anyagot használnak magas hőmérsékletű tégely, tűzálló kemencecső és speciális kopásálló anyagok, például kerámiacsapágyak, kerámia tömítések és szeleplemezek előállításához. A 95 alumínium kerámiát elsősorban korrózióálló kopásálló részként használják. A 85 kerámia gyakran keveredik bizonyos tulajdonságokban, ezáltal javítva az elektromos teljesítményt és a mechanikai szilárdságot. Használhatja a molibdén, a niobium, a tantalum és más fémtömítéseket, és néhányat elektromos vákuumkészülékként használnak.
| Minőségi tétel (reprezentatív érték) | Terméknév | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Kémiai összetétel alacsony nátrium-könnyű szinterelő termék | H₂o | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
| Lol | % | 0,1 | 0.2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
| Sio₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂o | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| Mgo* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Közepes részecske átmérője (MT-3300, lézerelemzés) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α kristályméret | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Sűrűség kialakítása ** | G/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Szintering sűrűség ** | G/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| A szinterelési vonal zsugorodási sebessége ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* Az MGO nem szerepel az al₂o₃ tisztaságának kiszámításában.
* Nincs skálázó por 29,4 mPa (300 kg/cm²), a szinterelési hőmérséklet 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11f: Adjunk hozzá 0,05 ~ 0,1% MGO-t, a szinterhetőség kiváló, tehát alkalmazható az alumínium-oxid kerámiára, több mint 99% tisztasággal.
AES-22-k: A magas formájú sűrűség és a szintering vonal alacsony csökkenési sebessége jellemzi, amely a csúszási formákra és más nagyméretű termékekre vonatkozik, amelyek szükséges méretű pontossággal rendelkeznek.
AES-23 / AES-31-03: Magasabb kialakító sűrűségű, tixotropia és alacsonyabb viszkozitású, mint az AES-22-k. Az előbbit a kerámiához használják, míg az utóbbit vízcsökkentőként használják tűzálló anyagokhoz, és egyre népszerűbbek.
♦ Szilícium -karbid (sIC) jellemzői
| Általános jellemzők | A fő alkatrészek tisztasága (tömeg%) | 97 | |
| Szín | Fekete | ||
| Sűrűség (g/cm³) | 3.1 | ||
| Vízelnyelés (%) | 0 | ||
| Mechanikai jellemzők | Hajlási erő (MPA) | 400 | |
| Fiatal modulus (GPA) | 400 | ||
| Vickers keménység (GPA) | 20 | ||
| Termikus tulajdonságok | Maximális üzemi hőmérséklet (° C) | 1600 | |
| Hőtágulási együttható | RT ~ 500 ° C | 3.9 | |
| (1/° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C | 4.3 | |
| Hővezető képesség (w/m x k) | 130 110 | ||
| Hőkancia -rezisztencia Δt (° C) | 300 | ||
| Elektromos jellemzők | Térfogat ellenállás | 25 ° C | 3 x 106 |
| 300 ° C | - | ||
| 500 ° C | - | ||
| 800 ° C | - | ||
| Dielektromos állandó | 10 GHz -es | - | |
| Dielektromos veszteség (x 10-4) | - | ||
| Q tényező (x 104) | - | ||
| Dielektromos bontási feszültség (KV/mm) | - | ||
♦ Szilícium -nitrid kerámia
| Anyag | Egység | Si₃n₄ |
| Szinterelési módszer | - | A gáznyomás szinterelt |
| Sűrűség | G/cm³ | 3.22 |
| Szín | - | Sötétszürke |
| Víz abszorpciós sebessége | % | 0 |
| Rugalmassági együttható | GPA | 290 |
| Vickers keménység | GPA | 18 - 20 |
| Nyomószilárdság | MPA | 2200 |
| Hajlító szilárdság | MPA | 650 |
| Hővezető képesség | W/mk | 25 |
| Termikus ütésállóság | Δ (° C) | 450 - 650 |
| Maximális üzemi hőmérséklet | ° C | 1200 |
| Térfogat ellenállás | Ω · cm | > 10 ^ 14 |
| Dielektromos állandó | - | 8.2 |
| Dielektromos erősség | KV/mm | 16 |