A gránit alkatrészeket széles körben használják a félvezetőgyártási folyamatokban kiváló tulajdonságaik, mint például a kiváló felületkezelés, a nagy merevség és a kiváló rezgéscsillapítás miatt. A gránit alkatrészek elengedhetetlenek a félvezetőgyártó berendezésekhez, beleértve a litográfiai gépeket, polírozó gépeket és méréstechnikai rendszereket, mivel precíziós pozicionálást és stabilitást biztosítanak a gyártási folyamat során. A gránit alkatrészek használatának minden előnye ellenére hibáik is vannak. Ebben a cikkben a félvezetőgyártási folyamatok termékeiben használt gránit alkatrészek hibáit tárgyaljuk.
Először is, a gránit alkatrészek magas hőtágulási együtthatóval rendelkeznek. Ez azt jelenti, hogy hőfeszültség hatására jelentősen kitágulnak, ami problémákat okozhat a gyártási folyamat során. A félvezetőgyártási folyamat nagy pontosságot és méretpontosságot igényel, amit a hőfeszültség ronthat. Például a szilíciumlapka hőtágulás miatti deformációja illesztési problémákat okozhat a litográfia során, ami ronthatja a félvezető eszköz minőségét.
Másodszor, a gránit alkatrészek porozitási hibái vákuumszivárgást okozhatnak a félvezetőgyártási folyamat során. A levegő vagy bármilyen más gáz jelenléte a rendszerben szennyeződést okozhat a lapka felületén, ami olyan hibákat eredményezhet, amelyek befolyásolhatják a félvezető eszköz teljesítményét. Az inert gázok, például az argon és a hélium beszivároghatnak a porózus gránit alkatrészekbe, és gázbuborékokat hozhatnak létre, amelyek zavarhatják a vákuumfolyamat integritását.
Harmadszor, a gránit alkatrészek mikrorepedései befolyásolhatják a gyártási folyamat pontosságát. A gránit egy törékeny anyag, amely idővel mikrorepedések kialakulásához vezethet, különösen állandó feszültségciklusoknak kitéve. A mikrorepedések jelenléte méretbeli instabilitáshoz vezethet, ami jelentős problémákat okozhat a gyártási folyamat során, például a litográfiai illesztésnél vagy a lapka polírozásánál.
Negyedszer, a gránit alkatrészek rugalmassága korlátozott. A félvezetőgyártási folyamat rugalmas berendezéseket igényel, amelyek képesek alkalmazkodni a különböző folyamatváltozásokhoz. A gránit alkatrészek azonban merevek, és nem tudnak alkalmazkodni a különböző folyamatváltozásokhoz. Ezért a gyártási folyamat bármilyen változása szükségessé teszi a gránit alkatrészek eltávolítását vagy cseréjét, ami állásidőhöz vezet, és befolyásolja a termelékenységet.
Ötödször, a gránit alkatrészek súlyuk és törékenységük miatt különleges kezelést és szállítást igényelnek. A gránit sűrű és nehéz anyag, amely speciális kezelőberendezéseket, például darukat és emelőket igényel. Ezenkívül a gránit alkatrészek gondos csomagolást és szállítást igényelnek a szállítás közbeni sérülések elkerülése érdekében, ami további költségekhez és időhöz vezet.
Összefoglalva, a gránit alkatrészeknek vannak bizonyos hátrányai, amelyek befolyásolhatják a félvezetőgyártási folyamat termékeinek minőségét és termelékenységét. Ezek a hibák minimalizálhatók a gránit alkatrészek gondos kezelésével és karbantartásával, beleértve a mikrotörések és porozitási hibák rendszeres ellenőrzését, a szennyeződés megelőzése érdekében történő megfelelő tisztítást, valamint a szállítás során történő gondos kezelést. A hibák ellenére a gránit alkatrészek továbbra is létfontosságú részét képezik a félvezetőgyártási folyamatnak kiváló felületkezelésük, nagy merevségük és kiváló rezgéscsillapításuk miatt.
Közzététel ideje: 2023. dec. 05.