A gránit alkatrészeket széles körben használják a félvezető gyártási folyamatában kiváló tulajdonságaik, például a kiváló felületi kivitel, a nagy merevség és a kiváló rezgéscsillapítás miatt. A gránit alkatrészek nélkülözhetetlenek a félvezető gyártási berendezésekhez, beleértve a litográfiai gépeket, a polírozógépeket és a metrológiai rendszereket, mivel ezek a precíziós pozicionálást és stabilitást biztosítják a gyártási folyamat során. A gránit alkatrészek használatának minden előnye ellenére hibáik vannak. Ebben a cikkben megvitatjuk a gránit alkatrészek hibáit a félvezető gyártási folyamat termékek esetében.
Először is, a gránit alkatrészek nagy termikus tágulási együtthatóval rendelkeznek. Ez azt jelenti, hogy jelentősen kiterjednek a termikus stressz alatt, ami problémákat okozhat a gyártási folyamat során. A félvezető gyártási folyamat nagy pontosságú és dimenziós pontosságot igényel, amelyet a termikus stressz miatt veszélyeztethet. Például a szilícium ostya deformációja a hőtágulás miatt a litográfia során igazítási problémákat okozhat, ami veszélyeztetheti a félvezető eszköz minőségét.
Másodszor, a gránit alkatrészek porozitási hibákkal rendelkeznek, amelyek vákuumszivárgásokat okozhatnak a félvezető gyártási folyamatában. A levegő vagy bármilyen más gáz jelenléte a rendszerben szennyeződést okozhat a ostya felületén, ami olyan hibákat eredményezhet, amelyek befolyásolhatják a félvezető eszköz teljesítményét. Az inert gázok, mint például az argon és a hélium, beszivároghatnak porózus gránit alkatrészekbe, és olyan gázbuborékokat hozhatnak létre, amelyek zavarhatják a vákuum folyamat integritását.
Harmadszor, a gránit alkatrészek olyan mikrotörésekkel rendelkeznek, amelyek zavarhatják a gyártási folyamat pontosságát. A gránit egy törékeny anyag, amely idővel kialakulhat mikrotöréseket, különösen akkor, ha állandó stresszciklusnak vannak kitéve. A mikrotáblák jelenléte dimenziós instabilitást okozhat, ami jelentős problémákat okozhat a gyártási folyamat során, például a litográfia igazítását vagy az ostya polírozását.
Negyedszer, a gránit alkatrészek korlátozott rugalmassággal rendelkeznek. A félvezető gyártási folyamat rugalmas berendezéseket igényel, amelyek eltérő folyamatváltozásokat tudnak befogadni. A gránit alkatrészek azonban merevek és nem tudnak alkalmazkodni a különböző folyamatváltozásokhoz. Ezért a gyártási folyamat bármilyen változása szükségessé teszi a gránit alkatrészek eltávolítását vagy cseréjét, ami leálláshoz vezet és befolyásolja a termelékenységet.
Ötödször, a gránit alkatrészek súlyuk és törékenységük miatt speciális kezelést és szállítást igényelnek. A gránit egy sűrű és nehéz anyag, amelyhez speciális kezelési berendezéseket, például daruk és emelők szükségesek. Ezenkívül a gránit alkatrészek gondos csomagolást és szállítást igényelnek a szállítás során bekövetkező károk elkerülése érdekében, ami további költségekhez és időhez vezet.
Összegezve: a gránit alkatrészek vannak olyan hátrányokkal, amelyek befolyásolhatják a félvezető gyártási folyamat termékeinek minőségét és termelékenységét. Ezeket a hibákat minimalizálhatjuk a gránit alkatrészek gondos kezelésével és karbantartásával, ideértve a mikrotörések és porozitási hibák időszakos ellenőrzését, a szennyeződés megelőzésére és a szállítás során gondos kezelést. A hibák ellenére a gránit alkatrészek továbbra is a félvezető gyártási folyamat létfontosságú részét képezik, mivel kiváló felületi kivitelük, nagy merevségük és kiváló rezgéscsillapításuk miatt.
A postai idő: december-05-2023