A gránit alkatrészeket széles körben alkalmazzák a félvezető gyártási folyamatban, olyan kiváló tulajdonságaik miatt, mint a kiváló felületi minőség, a nagy merevség és a kiváló rezgéscsillapítás.A gránit alkatrészek nélkülözhetetlenek a félvezető-gyártó berendezésekben, beleértve a litográfiai gépeket, polírozógépeket és a metrológiai rendszereket, mivel precíziós pozicionálást és stabilitást biztosítanak a gyártási folyamat során.A gránit alkatrészek használatának minden előnye ellenére hibáik is vannak.Ebben a cikkben a félvezető gyártási folyamattermékek gránit alkatrészeinek hibáit tárgyaljuk.
Először is, a gránit alkatrészek magas hőtágulási együtthatóval rendelkeznek.Ez azt jelenti, hogy hőterhelés hatására jelentősen kitágulnak, ami problémákat okozhat a gyártási folyamat során.A félvezető gyártási folyamat nagy pontosságot és méretpontosságot igényel, amelyet a termikus igénybevétel veszélyeztethet.Például a szilícium lapka hőtágulása miatti deformációja igazítási problémákat okozhat a litográfia során, ami veszélyeztetheti a félvezető eszköz minőségét.
Másodszor, a gránit alkatrészek porozitási hibákkal rendelkeznek, amelyek vákuumszivárgást okozhatnak a félvezető gyártási folyamatban.Levegő vagy bármely más gáz jelenléte a rendszerben szennyeződést okozhat az ostya felületén, ami olyan hibákat eredményezhet, amelyek befolyásolhatják a félvezető eszköz teljesítményét.Az inert gázok, például az argon és a hélium beszivároghatnak a porózus gránitkomponensekbe, és gázbuborékokat képezhetnek, amelyek megzavarhatják a vákuumfolyamat integritását.
Harmadszor, a gránit alkatrészeken mikrotörések vannak, amelyek befolyásolhatják a gyártási folyamat pontosságát.A gránit törékeny anyag, amely idővel mikrotöréseket okozhat, különösen, ha állandó stresszciklusoknak van kitéve.A mikrotörések jelenléte a méretek instabilitásához vezethet, ami jelentős problémákat okozhat a gyártási folyamat során, mint például a litográfia igazítása vagy az ostya polírozása.
Negyedszer, a gránit alkatrészek rugalmassága korlátozott.A félvezető gyártási folyamat rugalmas berendezést igényel, amely képes alkalmazkodni a különböző folyamatváltozásokhoz.A gránit alkatrészek azonban merevek, és nem tudnak alkalmazkodni a különböző folyamatváltozásokhoz.Ezért a gyártási folyamat bármely változása szükségessé teszi a gránit alkatrészek eltávolítását vagy cseréjét, ami leálláshoz vezet, és befolyásolja a termelékenységet.
Ötödször, a gránit alkatrészek súlyuk és törékenységük miatt különleges kezelést és szállítást igényelnek.A gránit sűrű és nehéz anyag, amely speciális kezelőeszközöket, például darukat és emelőket igényel.Ezenkívül a gránit alkatrészek gondos csomagolást és szállítást igényelnek, hogy elkerüljék a szállítás közbeni sérüléseket, ami többletköltségeket és időt jelent.
Összefoglalva, a gránit alkatrészeknek van néhány hátránya, amelyek befolyásolhatják a félvezető gyártási folyamat termékeinek minőségét és termelékenységét.Ezeket a hibákat minimálisra lehet csökkenteni a gránit alkatrészek gondos kezelésével és karbantartásával, beleértve a mikrotörések és porozitási hibák időszakos ellenőrzését, a szennyeződés megelőzését szolgáló megfelelő tisztítást és a szállítás közbeni gondos kezelést.A hibák ellenére a gránit alkatrészek továbbra is a félvezető gyártási folyamat létfontosságú részét képezik kiváló felületi minőségüknek, nagy merevségüknek és kiváló rezgéscsillapításuknak köszönhetően.
Feladás időpontja: 2023. december 05